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1. WO2017158928 - 酸化物焼結体

公開番号 WO/2017/158928
公開日 21.09.2017
国際出願番号 PCT/JP2016/084248
国際出願日 18.11.2016
IPC
C04B 35/01 2006.01
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
C23C 14/34 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
H01B 1/08 2006.01
H電気
01基本的電気素子
Bケーブル;導体;絶縁体;導電性,絶縁性または誘導性特性に対する材料の選択
1導電材料によって特徴づけられる導体または導電物体;導体としての材料の選択
06主として他の非金属物質からなるもの
08酸化物
H01B 5/14 2006.01
H電気
01基本的電気素子
Bケーブル;導体;絶縁体;導電性,絶縁性または誘導性特性に対する材料の選択
5形を特徴とする非絶縁導体または導電物体
14絶縁支持体上に導電層または導電フイルムを有するもの
CPC
C04B 2235/3206
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
3206Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
C04B 2235/3286
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3286Gallium oxides, gallates, indium oxides, indates, thallium oxides, thallates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc gallate
C04B 2235/3293
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
3293Tin oxides, stannates or oxide forming salts thereof, e.g. indium tin oxide [ITO]
C04B 2235/5445
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
54Particle size related information
5418expressed by the size of the particles or aggregates thereof
5445submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
C04B 2235/6562
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
656characterised by specific heating conditions during heat treatment
6562Heating rate
C04B 2235/6567
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
656characterised by specific heating conditions during heat treatment
6567Treatment time
出願人
  • JX金属株式会社 JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 掛野 崇 KAKENO Takashi
  • 角田 浩二 KAKUTA Koji
代理人
  • 小越 勇 OGOSHI Isamu
  • 小越 一輝 OGOSHI Kazuteru
優先権情報
2016-04934114.03.2016JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) OXIDE SINTERED COMPACT
(FR) PASTILLE FRITTÉE D'OXYDE
(JA) 酸化物焼結体
要約
(EN)
Provided is an oxide sintered compact substantially comprising indium, tin, magnesium, and oxygen, the proportion of tin being such that the atomic ratio Sn/(In+Sn+Mg) is 5–15%, the proportion of magnesium being such that the atomic ratio Mg/(In+Sn+Mg) is 0.1–2.0%, and the remainder comprising indium and oxygen, wherein said oxide sintered compact is characterized by having a transverse rupture strength of at least 140 MPa when the oxide sintered compact has a surface roughness Ra of 0.3–0.5 μm. The present invention addresses the problem of providing an oxide sintered compact for use as a sputtering target capable of reducing target cracking and particle generation during film formation, and capable of forming a thin film exhibiting superior amorphous stability and durability.
(FR)
L'invention concerne une pastille frittée d'oxyde comprenant essentiellement de l'indium, de l'étain, du magnésium et de l'oxygène, la proportion d'étain étant telle que le rapport atomique Sn/(In+ Sn+Mg) est de 5 à 15 %, la proportion de magnésium étant telle que le rapport atomique Mg/(In+Sn+Mg) est de 0,1 à 2,0 % et le reste comprenant de l'indium et de l'oxygène, ladite pastille frittée d'oxyde étant caractérisée en ce qu'elle présente une résistance à la rupture transversale d'au moins 140 MPa lorsque la pastille frittée d'oxyde présente une rugosité de surface Ra de 0,3 à 0,5 µm. Le problème à la base de la présente invention concerne une pastille frittée d'oxyde destinée à être utilisée en tant que cible de pulvérisation pouvant réduire la fissuration de la cible et la génération de particules pendant la formation du film et pouvant former un film mince présentant une stabilité et une durabilité amorphes supérieures.
(JA)
実質的にインジウム、スズ、マグネシウム及び酸素からなり、スズがSn/(In+Sn+Mg)の原子数比で5~15%の割合、マグネシウムがMg/(In+Sn+Mg)の原子数比で0.1~2.0%の割合で含有されており、残部がインジウム及び酸素からなる焼結体であって、前記焼結体の表面粗さRaが0.3~0.5μmであるときの抗折強度が140MPa以上であることを特徴とする酸化物焼結体。成膜時にターゲット割れやパーティクル発生を低減することができると共に、非晶質安定性や耐久性に優れた薄膜を形成することができるスパッタリングターゲット用酸化物焼結体を提供することを課題とする。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報