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1. (WO2017051621) 荷電粒子線装置及びパターン測定装置

Pub. No.:    WO/2017/051621    International Application No.:    PCT/JP2016/073035
Publication Date: Fri Mar 31 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Aug 06 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01B 15/04
G01B 15/00
G01N 23/225
H01J 37/22
H01L 21/66
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: YOKOSUKA Toshiyuki
横須賀 俊之
LEE Chahn
李 燦
KAZUMI Hideyuki
数見 秀之
HASEGAWA Manabu
長谷川 学
Title: 荷電粒子線装置及びパターン測定装置
Abstract:
本発明は、試料の帯電に影響されることなく、試料の3次元構造を予測可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。本発明では、第1の到達エネルギーの荷電粒子ビームの照射に基づいて得られる第1の信号波形のピークとボトムとの間の第1の距離(dt1)と、前記第1の到達エネルギーとは異なる第2の到達エネルギーの荷電粒子ビームの照射に基づいて得られる第2の信号波形のピークとボトムとの間の第2の距離(dt2)を求め、当該第1の距離と第2の距離の外挿に基づいて、前記第1と第2の到達エネルギーとは異なる到達エネルギー(例えばゼロ)での前記ピークとボトム間の距離を求めることを特徴とする荷電粒子線装置を提案する。