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1. (WO2017051447) 検査用照明装置及び検査システム

Pub. No.:    WO/2017/051447    International Application No.:    PCT/JP2015/076824
Publication Date: Fri Mar 31 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Sep 24 01:59:59 CEST 2015
IPC: G01N 21/84
Applicants: MACHINE VISION LIGHTING INC.
マシンビジョンライティング株式会社
Inventors: MASUMURA Shigeki
増村茂樹
Title: 検査用照明装置及び検査システム
Abstract:
【課題】被検査対象の特徴点で生じる光の変化がわずかであっても、その光の変化量をその全視野範囲で判別可能とし、その特徴点を、同条件で検出する事が可能な検査用照明装置を提供する。 【解決手段】前記検査用照明装置100において、面光源1と、前記面光源1と検査対象Wとの間に、遮光マスクM1及びフィルター手段F1の少なくともいずれかひとつがそのレンズの焦点位置を中心として位置するように、前記検査対象Wに近い側にレンズ2を配置し、前記面光源1から放射された光が前記レンズ2によって前記検査対象Wに照射される際の照射立体角が、特定の光属性を持つ任意の立体角領域をもつようにして、被検査対象の特徴点で生じる変化に合わせ、前記検査光の照射立体角の形状や大きさ及び傾き角と前記照射立体角内の特定の光属性をもつ立体角領域を、その視野全域において略均一に設定できるようにした。