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1. (WO2017047201) オゾンガスの供給方法、およびオゾンガスの供給システム

Pub. No.:    WO/2017/047201    International Application No.:    PCT/JP2016/069299
Publication Date: Fri Mar 24 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 30 01:59:59 CEST 2016
IPC: C01B 13/11
B01D 53/04
Applicants: IWATANI CORPORATION
岩谷産業株式会社
Inventors: MAKIHIRA, Naohisa
牧平 尚久
IZUMI, Koichi
泉 浩一
FURUTANI, Masahiro
古谷 政博
Title: オゾンガスの供給方法、およびオゾンガスの供給システム
Abstract:
オゾンガスの供給方法は、オゾンガス源(10)からのオゾンガスを第2の流路(85,87,102)を介して供給する工程と、オゾンガスを、第1の流路(85,86,91A,92A,96,102)を介して供給する状態に切り替えて、窒素酸化物の濃度が低下したオゾンガスを供給する工程とを備える。オゾンガスを第2の流路(85,87,102)を介して供給する工程は、オゾンガスの一部を第1容器(20A)に導入して第1吸着剤のオゾン吸着能を抑制する工程を含む。オゾンガスを第1の流路(85,86,91A,92A,96,102)を介して供給対象物に供給する工程では、オゾン吸着能が抑制された第1吸着剤を保持する第1容器(20A)をオゾンガスが通過する。