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1. (WO2017043644) ガラス基板の製造方法、及びガラス基板の製造装置
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国際公開番号: WO/2017/043644 国際出願番号: PCT/JP2016/076665
国際公開日: 16.03.2017 国際出願日: 09.09.2016
IPC:
C03C 15/00 (2006.01) ,B65G 49/06 (2006.01) ,H01L 21/302 (2006.01)
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
15
繊維やフィラメントの形態をとらないガラスの,エッチングによる表面処理
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
06
もろい薄板状材料,例.ガラス板,用のもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
出願人:
日本電気硝子株式会社 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. [JP/JP]; 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 7-1, Seiran 2-chome, Otsu-shi, Shiga 5208639, JP
発明者:
高橋 祐之 TAKAHASHI Yuji; JP
大野 和宏 OHNO Kazuhiro; JP
中塚 弘樹 NAKATSUKA Hiroki; JP
奥 隼人 OKU Hayato; JP
代理人:
城村 邦彦 SHIROMURA Kunihiko; JP
熊野 剛 KUMANO Tsuyoshi; JP
優先権情報:
2015-17973111.09.2015JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR MANUFACTURING GLASS SUBSTRATE, AND APPARATUS FOR MANUFACTURING GLASS SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT EN VERRE ET APPAREIL DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT EN VERRE
(JA) ガラス基板の製造方法、及びガラス基板の製造装置
要約:
(EN) In a method for manufacturing a glass substrate, the method comprising performing an etching process through use of a processing gas 5 in a processing region 4 provided above a conveyance path of a glass substrate 3 in a chamber 2 while the glass substrate 3 is conveyed in a horizontal direction, the glass substrate 3 being carried into the chamber 2 from a loading port 2aa, and then carrying the processed glass substrate 3 out of the chamber 2 from a delivery port 2ab, windbreak members 12 in which openings 12a for allowing passage of the conveyed glass substrate 3 therethrough are provided between the loading port 2aa and the processing region 4 and between the processing region 4 and the delivery port 2ab on the conveyance path of the glass substrate 3.
(FR) La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un substrat en verre, le procédé comprenant la réalisation d'un processus de gravure par le biais de l'utilisation d'un gaz de traitement (5) dans une région de traitement (4) prévue au-dessus d'un trajet de transport d'un substrat en verre (3) dans une chambre (2) tandis que le substrat en verre (3) est transporté dans une direction horizontale, le substrat en verre (3) étant transporté à l'intérieur de la chambre (2) depuis un orifice de chargement (2aa), puis le transport du substrat en verre traité (3) hors de la chambre (2) depuis un orifice de distribution (2ab), des éléments brise-vent (12), ayant des ouvertures (12a) qui permettent le passage du substrat en verre transporté (3) à travers celles-ci, sont prévus entre l'orifice de chargement (2aa) et la région de traitement (4) et entre la région de traitement (4) et l'orifice de distribution (2ab) sur le trajet de transport du substrat en verre (3).
(JA) 搬入口2aaからチャンバー2内へと搬入したガラス基板3を水平方向に搬送しつつ、チャンバー2内でのガラス基板3の搬送経路上に設けた処理領域4で処理ガス5によりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板3を搬出口2abからチャンバー2外へと搬出するガラス基板の製造方法について、ガラス基板3の搬送経路上における搬入口2aaと処理領域4との間、及び、処理領域4と搬出口2abとの間に、搬送中のガラス基板3を通過させるための開口12aが形成された防風部材12をそれぞれ設置した。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)