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1. (WO2017043383) 圧電素子および圧電素子の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/043383    国際出願番号:    PCT/JP2016/075433
国際公開日: 16.03.2017 国際出願日: 31.08.2016
IPC:
H01L 41/047 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/29 (2013.01)
出願人: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD. [JP/JP]; 1-10, Fuso-cho, Amagasaki-shi, Hyogo 6600891 (JP)
発明者: TABUCHI, Yusuke; (JP).
MATSUOKA, Gen; (JP).
IKEDA, Takashi; (JP)
代理人: MIYAZONO, Hirokazu; (JP)
優先権情報:
2015-179069 11.09.2015 JP
発明の名称: (EN) PIEZOELECTRIC ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING PIEZOELECTRIC ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電素子および圧電素子の製造方法
要約: front page image
(EN)This piezoelectric element (100) is provided with a lower electrode (2) formed on a substrate (1), a piezoelectric layer (3) formed on the lower electrode, and an upper electrode (4) formed on the piezoelectric layer. The upper electrode includes a first upper electrode layer (41) formed of a metal oxide in which at least the part on the border with the piezoelectric layer includes an amorphous portion, and a second upper electrode layer (42) formed on the first upper electrode layer.
(FR)L'invention porte sur un élément piézoélectrique (100) comprenant une électrode inférieure (2) formée sur un substrat (1), une couche piézoélectrique (3) formée sur l'électrode inférieure, et une électrode supérieure (4) formée sur la couche piézoélectrique. L'électrode supérieure comprend une première couche d'électrode supérieure (41) formée d'un oxyde métallique dont au moins la partie située sur la frontière avec la couche piézoélectrique comprend une partie amorphe, et une seconde couche d'électrode supérieure (42) formée sur la première couche d'électrode supérieure.
(JA)この圧電素子(100)は、基板(1)上に形成された下部電極(2)と、下部電極上に形成された圧電層(3)と、圧電層上に形成された上部電極(4)とを備える。そして、上部電極は、少なくとも圧電層との境界部がアモルファス状の部分を含む金属酸化物により形成された第1上部電極層(41)と、第1上部電極層上に形成された第2上部電極層(42)とを含む。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)