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1. (WO2017043123) X線検査方法及びX線検査装置

Pub. No.:    WO/2017/043123    International Application No.:    PCT/JP2016/064223
Publication Date: Fri Mar 17 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat May 14 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 23/04
G01N 23/10
G01N 23/18
Applicants: HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
株式会社日立ハイテクサイエンス
Inventors: URANO Yuta
浦野 雄太
ZHANG Kaifeng
張 開鋒
MATOBA Yoshiki
的場 吉毅
TAKEDA Akihiro
竹田 明弘
Title: X線検査方法及びX線検査装置
Abstract:
本発明は、X線検査装置において、厚みのある被検査物に対しても空間分解能を劣化させることなく時間遅延積分による検出を可能にすることを目的とする。本発明のX線検査装置(100)は、X線を発生するX線源(1)と、試料(S)を搬送する搬送部(3)と、X線源(1)で発生して搬送部(3)で搬送されている試料(S)を透過したX線を検出する時間遅延積分(TDI)型の検出器(4)を備えた検出部と、時間遅延積分型の検出器(4)で検出して得た信号を処理して試料中の欠陥を判定する欠陥判定部(7)とを備え、搬送部(3)は、試料(S)が検出部の時間遅延積分型の検出器(4)の前を通過するときに、搬送と同期させて試料(S)を回転 させながら搬送することを特徴とする。