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1. (WO2017042974) 極端紫外光生成装置

Pub. No.:    WO/2017/042974    International Application No.:    PCT/JP2015/075904
Publication Date: Fri Mar 17 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Sep 12 01:59:59 CEST 2015
IPC: H05G 2/00
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: IWAMOTO Fumio
岩本 文男
HORI Tsukasa
堀 司
HIRASHITA Toshiyuki
平下 俊行
Title: 極端紫外光生成装置
Abstract:
極端紫外光生成装置は、内部でターゲットにレーザ光が照射されて極端紫外光が生成されるチャンバと、ターゲットをチャンバ内へ吐出するターゲット供給部と、を備え、ターゲット供給部は、ターゲットをチャンバ内へ吐出する吐出口が形成された吐出面を備えるノズル部材を備え、吐出面と重力軸との成す角度θ1が条件「0度<θ1<90度」を満たす、としてよい。