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1. (WO2017042932) 検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/042932    国際出願番号:    PCT/JP2015/075720
国際公開日: 16.03.2017 国際出願日: 10.09.2015
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: YAMAGUCHI Atsuko; (JP).
IKOTA Masami; (JP).
HASUMI Kazuhisa; (JP)
代理人: POLAIRE I.P.C.; 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 検査装置
要約: front page image
(EN)In order to provide an inspection device capable of quantitatively evaluating a pattern related to the state of a manufacturing process or element performance, the inspection device is provided with an image analysis unit for analyzing a top-down image of a sample on which pillar-shaped patterns are formed at regular intervals. The image analysis unit 240 comprises a computing unit 243 for finding, as first indexes, a major axis, a minor axis, an eccentricity, and an angle which a major axis direction forms with an image horizontal axis direction of an approximate ellipse, and a Cr computing unit 248 for finding, as second indexes, the circumference of the outline of the pillar-shaped pattern on the sample and a value obtained by dividing the square of the circumference by a value obtained by multiplying 4π and an area surrounded by the outline.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'inspection apte à évaluer de manière quantitative un motif associé à l'état d'une performance d'un élément ou d'un processus de fabrication, le dispositif d'inspection comprenant une unité d'analyse d'image destinée à analyser une image de haut en bas d'un échantillon sur lequel des motifs en forme de pilier sont formés à intervalles réguliers. L'unité d'analyse d'image (240) comprend une unité de calcul (243) destinée à trouver, en guise de premiers indices, un axe majeur, un axe mineur, une excentricité et un angle qu'une direction de l'axe majeur forme avec une direction de l'axe horizontal d'image d'une ellipse approximative, ainsi qu'une unité de calcul Cr (248) destinée à trouver, en guise de seconds indices, la circonférence du contour du motif en forme de pilier sur l'échantillon et une valeur obtenue par division du carré de la circonférence par une valeur obtenue par multiplication de 4n et d'une zone entourée par le contour.
(JA)製造工程の状態あるいは素子の性能に関係するパターンを定量的に評価可能な検査装置を提供するために柱状パターンが一定の間隔で形成された試料のトップダウン画像を解析する画像解析部を備え、画像解析部240は、近似した楕円の長径、短径、離心率、長径方向が画像水平軸方向となす角度を第一の指標として求める演算部243と、試料上の柱状ターンの輪郭線の周長および周長の二乗を4πと輪郭線で囲まれた面積とを乗じた値で割った値を第二の指標として求めるCr演算部248と、を有する検査装置とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)