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1. (WO2017042915) ターゲット収容装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/042915    国際出願番号:    PCT/JP2015/075630
国際公開日: 16.03.2017 国際出願日: 09.09.2015
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
出願人: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400,Oaza Yokokurashinden,Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
発明者: SHIRAISHI Yutaka; (JP).
NISHISAKA Toshihiro; (JP).
HIRASHITA Toshiyuki; (JP).
ISHII Takuya; (JP)
代理人: MATSUURA Kenzo; Matsuura & Associates, P.O. Box 176, Shinjuku Sumitomo Bldg. 23F, 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630223 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) TARGET STORAGE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE STOCKAGE DE CIBLE
(JA) ターゲット収容装置
要約: front page image
(EN)This target storage device may be provided with: a tank for storing a target that generates extreme ultraviolet light when irradiated with laser light; a heater, which is connected to the tank, and heats the tank; and a radiation member that is disposed such that at least a part of the tank, to which the heater is connected, is covered with the radiation member, said radiation member reflecting heat radiation from the tank and the heater toward the tank.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de stockage de cible qui peut être muni : d'un réservoir pour stocker une cible qui génère de la lumière ultraviolette extrême lorsque cette dernière est exposée à de la lumière laser ; d'un dispositif de chauffage, qui est relié au réservoir et chauffe le réservoir ; et d'un élément de rayonnement qui est disposé de manière qu'au moins une partie du réservoir, à laquelle le dispositif de chauffage est relié, soit recouverte par l'élément de rayonnement, ledit élément de rayonnement réfléchissant vers le réservoir un rayonnement thermique provenant du réservoir et du dispositif de chauffage.
(JA)ターゲット収容装置は、レーザ光が照射されると極端紫外光を生成するターゲットを収容するタンクと、前記タンクに接続され前記タンクを加熱するヒータと、前記ヒータが接続された前記タンクの少なくとも一部を覆うように配置され、前記タンク及び前記ヒータからの熱輻射を前記タンクに向けて反射する輻射部材と、を備えてもよい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)