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1. (WO2017038811) 基板搬送ロボットおよび基板処理システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/038811    国際出願番号:    PCT/JP2016/075309
国際公開日: 09.03.2017 国際出願日: 30.08.2016
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
出願人: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670 (JP).
KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC. [US/US]; 28140 Lakeview Drive Wixom Michigan 48393 (US)
発明者: GOTO Hirohiko; (JP).
Mark Tang; (US).
Eric Chan; (US).
ONO Shigeki; (US).
KITANO Shinya; (US).
Ming Zeng; (US)
代理人: NAZUKA Satoshi; (JP).
INOUE Mitsuru; (JP)
優先権情報:
14/840,593 31.08.2015 US
発明の名称: (EN) SUBSTRATE CONVEYANCE ROBOT AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ロボットおよび基板処理システム
要約: front page image
(EN)A control means (12) of this substrate conveyance robot (1) causes a robot arm (4) and a substrate holding device (7) to perform a blade member entering motion, a substrate receiving motion, and a substrate mounting motion. The substrate holding device (7) is configured to be switchable between: a first operation state in which a pair of blade members (25, 26) are arranged in the vertical direction; and a second operation state in which the pair of blade members (25, 26) are arranged at positions so as to be misaligned from each other in the vertical direction, and in which a single blade member is allowed to enter a substrate mounting structure. Takt time during substrate conveyance can be shortened irrespective of the type of the substrate mounting structure.
(FR)L'invention concerne un moyen de commande (12) de ce robot de transport (1) de substrat qui amène un bras (4) de robot et un dispositif (7) de maintien de substrat à effectuer mouvement d'entrée d'élément de lame, un mouvement de réception de substrat, et un mouvement de montage de substrat. Le dispositif (7) de maintien de substrat est conçu pour être commutable entre : un premier état de fonctionnement dans lequel deux éléments de lame (25, 26) sont agencés dans la direction verticale ; et un second état de fonctionnement dans lequel les deux éléments de lame (25, 26) sont agencés au niveau de positions données de façon à ne pas être alignés l'un par rapport l'autre dans la direction verticale, et dans lequel un seul élément de lame est autorisé à entrer dans une structure de montage de substrat. Le temps takt pendant le transport du substrat peut être raccourci quel que soit le type de la structure de montage de substrat.
(JA)基板搬送ロボット(1)の制御手段(12)は、ブレード部材進入動作と、基板受取り動作と、基板載置動作とを、ロボットアーム(4)および基板保持装置(7)に実施させる。基板保持装置(7)は、一対のブレード部材(25,26)が上下方向に配置された第1稼働状態と、一対のブレード部材(25,26)が上下方向から外れた位置に配置され、単一のブレード部材を基板載置構造に進入可能とする第2稼働状態とを切り換え可能に構成されている。基板載置構造の種類にかかわらず、基板搬送時のタクトタイムを短縮できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)