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1. (WO2017038490) ガス注入装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/038490    国際出願番号:    PCT/JP2016/074188
国際公開日: 09.03.2017 国際出願日: 19.08.2016
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
出願人: SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 1-30, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058564 (JP)
発明者: KAWAI, Toshihiro; (JP).
TANIYAMA, Yasushi; (JP).
KOMIYA, Munekazu; (JP).
SHIGETA, Takashi; (JP)
代理人: KAJI, SUHARA & ASSOCIATES; Recruit Shin Osaka BLDG., 5-14-22, Nishinakajima, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011 (JP)
優先権情報:
2015-175192 04.09.2015 JP
発明の名称: (EN) GAS INJECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D’INJECTION DE GAZ
(JA) ガス注入装置
要約: front page image
(EN)In order to provide a gas injection device that prevents atmospheric air from penetrating, when gas is being filled into an FOUP, the present invention comprises: a nozzle main body 71 having a gas supply port 72 that supplies inert gas and a gas flow path 77 that connects to the gas supply port 72; an opening/closing mechanism 92 that closes the gas supply port 72; and an opening means 96 that opens the gas supply port 72 that has been closed by the opening/closing mechanism 92.
(FR)L’invention fournit un dispositif d’injection de gaz qui inhibe la pénétration de l’air atmosphérique lors du remplissage au moyen d’un gaz d’une capsule unifiée à ouverture frontale (FOUP). À cet effet, le dispositif d’injection de gaz est équipé : d’un corps principal de buse (71) qui possède un orifice d’alimentation en gaz (72) assurant une alimentation en gaz inerte, et un trajet d’écoulement de gaz (77) communiquant avec l’orifice d’alimentation en gaz (72) ; d’un mécanisme d’ouverture/fermeture (92) fermant l’orifice d’alimentation en gaz (72) ; et d’un moyen d’ouverture (96) qui ouvre l’orifice d’alimentation en gaz (72) ainsi fermé par le mécanisme d’ouverture/fermeture (92).
(JA)FOUPにガスを充填する際、大気が侵入するのを防止するガス注入装置を提供する。このために、不活性ガスを供給するガス供給口72と、ガス供給口72に連通するガス流路77とを有するノズル本体71と、ガス供給口72を閉止する開閉機構92と、開閉機構92により閉止されたガス供給口72を開放する開放手段96とを備えた。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)