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1. (WO2017038470) シート剥離装置および剥離方法
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国際公開番号: WO/2017/038470 国際出願番号: PCT/JP2016/074016
国際公開日: 09.03.2017 国際出願日: 17.08.2016
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
出願人:
リンテック株式会社 LINTEC CORPORATION [JP/JP]; 東京都板橋区本町23番23号 23-23, Honcho, Itabashi-ku, Tokyo 1730001, JP
発明者:
高野 健 TAKANO Takeshi; JP
代理人:
特許業務法人樹之下知的財産事務所 KINOSHITA & ASSOCIATES; 東京都杉並区荻窪五丁目26番13号 3階 3rd Floor, 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-ku, Tokyo 1670051, JP
優先権情報:
2015-17146731.08.2015JP
発明の名称: (EN) SHEET DETACHMENT DEVICE AND DETACHMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF DE SÉPARATION DE FEUILLE ET PROCÉDÉ DE SÉPARATION
(JA) シート剥離装置および剥離方法
要約:
(EN) A sheet detachment device (10) equipped with: an adhering means (20) for adhering a detachable tape PT to an adhesive sheet (AS); a pulling means (30) for detaching the adhesive sheet (AS) from an adherend (WF) by imparting tension to the detachable tape (PT) adhered to the adhesive sheet (AS); a movement restriction means (40) for restricting movement of the adherend (WF) in the adhesive-sheet (AS) detachment direction caused by the detachment of the adhesive sheet (AS) by the pulling means (30); and a pressing means (50) for pressing in the direction of the adherend (WF) on the adhesive sheet (AS) which has been detached from the adherend (WF). Therein, one adhesive sheet (AS) is detached by selectively using the movement restriction means (40) and the pressing means (50).
(FR) L'invention concerne un dispositif de séparation de feuille (10) équipé : d'un moyen adhésif (20) permettant de coller un ruban détachable (PT) à une feuille adhésive (AS); d'un moyen de traction (30) permettant de séparer la feuille adhésive (AS) d'une partie adhérée (WF) par application d'une tension sur le ruban détachable (PT) collé à la feuille adhésive (AS); d'un moyen de restriction de mouvement (40) permettant de restreindre le mouvement de la partie adhérée (WF) dans la direction de séparation de la feuille adhésive (AS) provoqué par la séparation de la feuille adhésive (AS) par les moyens de traction (30); et d'un moyen de pression (50) permettant d'exercer une pression dans la direction de la partie adhérée (WF) sur la feuille adhésive (AS) qui a été séparée de la partie adhérée (WF). Une feuille adhésive (AS) est séparée en utilisant sélectivement le moyen de restriction de mouvement (40) et le moyen de pression (50).
(JA) シート剥離装置(10)は、剥離用テープPTを接着シート(AS)に貼付する貼付手段(20)と、接着シート(AS)に貼付された剥離用テープ(PT)に張力を付与して被着体(WF)から接着シート(AS)を剥離する引張手段(30)と、引張手段(30)での接着シート(AS)の剥離によって被着体(WF)が接着シート(AS)の剥離方向へ移動することを規制する移動規制手段(40)と、被着体(WF)から剥離された接着シート(AS)を被着体(WF)方向に押え付ける押え付け手段(50)とを備え、移動規制手段(40)と押え付け手段(50)とを選択的に利用して1枚の接着シート(AS)を剥離する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)