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1. (WO2017038468) シート剥離装置および剥離方法

Pub. No.:    WO/2017/038468    International Application No.:    PCT/JP2016/074006
Publication Date: Fri Mar 10 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Aug 18 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/683
Applicants: LINTEC CORPORATION
リンテック株式会社
Inventors: TAKANO Takeshi
高野 健
Title: シート剥離装置および剥離方法
Abstract:
シート剥離装置(10)は、剥離用テープ(PT)を接着シート(AS)に貼付する貼付手段(20)と、接着シート(AS)に貼付された剥離用テープ(PT)に張力を付与して被着体(WF)から接着シート(AS)を剥離する引張手段(30)と、引張手段(30)で剥離された接着シート(AS)を折り畳む折畳手段(80)とを備え、引張手段(30)は、被着体(WF)から剥離した接着シート(AS)が2つ折りになるように当該接着シート(AS)を誘導する誘導手段(32)を備え、折畳手段(80)は、誘導手段(32)によって2つ折りとされた接着シート(AS)に圧着力を付与する圧着手段(82)を備えている。