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1. (WO2017038196) 集積回路センサおよびセンサ基板
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/038196    国際出願番号:    PCT/JP2016/067316
国際公開日: 09.03.2017 国際出願日: 10.06.2016
IPC:
G01N 27/22 (2006.01), G01N 27/02 (2006.01), G01N 27/72 (2006.01), H01L 21/822 (2006.01), H01L 27/04 (2006.01)
出願人: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522 (JP)
発明者: IIZUKA, Kunihiko; (--).
SAITO, Akira; (--).
MITSUNAKA, Takeshi; (--).
ASHIDA, Nobuyuki; (--)
代理人: HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041 (JP)
優先権情報:
2015-175092 04.09.2015 JP
発明の名称: (EN) INTEGRATED CIRCUIT SENSOR AND SENSOR SUBSTRATE
(FR) CAPTEUR À CIRCUIT INTÉGRÉ ET SUBSTRAT DE CAPTEUR
(JA) 集積回路センサおよびセンサ基板
要約: front page image
(EN)Provided is an integrated circuit sensor with which it is possible to reliably bring into contact a body to be inspected and the surface of an integrated circuit across a wide area irrespective of the type of body to be inspected. A through-silicon via (11) electrically connecting the interior of an integrated circuit sensor (4) and the exterior of the integrated circuit sensor (4) is formed in the interior of the integrated circuit sensor (4) so as to reach the reverse surface of the integrated circuit sensor (4), which faces the surface of the integrated circuit sensor (4).
(FR)La présente invention concerne un capteur à circuit intégré avec lequel il est possible de mettre en contact de manière fiable un corps qui doit être inspecté, et la surface d'un circuit intégré d'un côté à l'autre d'une large zone, quel que soit le type de corps qui doit être inspecté. Un trou d'interconnexion traversant le silicium (11) qui raccorde électriquement l'intérieur d'un capteur à circuit intégré (4) et l'extérieur du capteur à circuit intégré (4), est formé à l'intérieur du capteur à circuit intégré (4) de sorte à atteindre la surface arrière du capteur à circuit intégré (4), qui fait face à la surface du capteur à circuit intégré (4).
(JA)被検査体の種類に関係なく、被検査体と集積回路センサの表面との接触を確実に、広い領域で行うことを可能にする集積回路センサを提供する。集積回路センサ(4)の内部と集積回路センサ(4)の外部とを電気的に接続するシリコン貫通電極(11)は、集積回路センサ(4)の内部において、集積回路センサ(4)の表面と対向する集積回路センサ(4)の裏面に到るように形成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)