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1. (WO2017037970) 金属板からレジスト膜を除去する方法およびエッチングされた金属板の製造方法

Pub. No.:    WO/2017/037970    International Application No.:    PCT/JP2016/002856
Publication Date: Fri Mar 10 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue Jun 14 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/42
H01L 21/027
Applicants: NISSHIN STEEL CO., LTD.
日新製鋼株式会社
Inventors: SATOU, Masaki
佐藤 正樹
SUZUKI, Seiju
鈴木 成寿
SUGITA, Shuichi
杉田 修一
Title: 金属板からレジスト膜を除去する方法およびエッチングされた金属板の製造方法
Abstract:
本発明は、高い除去性を有するレジスト除去液を用いて、リン酸エステル基またはカルボキシル基を有する樹脂硬化物を含むレジスト膜を除去する方法であって、レジスト除去液の除去性の低下を抑制し、かつ、レジスト除去液中のリン濃度を実質的に高めない方法を提供することを目的とする。前記方法は、金属板の上に配置された、リン酸エステル基またはカルボキシル基を有する樹脂硬化物を含むレジスト膜に、レジスト除去液を接触させて、金属板からレジスト膜を除去する方法である。この方法において、レジスト除去液は、ベンジルアルコール、ベンジルアルコールに対する質量比が0.3以上2.5以下である量の水、および界面活性剤を含有し、苛性アルカリ成分を実質的に含有しない。