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1. WO2017033717 - 複合センサ

公開番号 WO/2017/033717
公開日 02.03.2017
国際出願番号 PCT/JP2016/073237
国際出願日 08.08.2016
IPC
G01C 19/5628 2012.1
G物理学
01測定;試験
C距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
5607振動状態の音叉を用いるもの
5628製造;トリミング;据え付け;ハウジング
B81B 3/00 2006.1
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G01C 19/5621 2012.1
G物理学
01測定;試験
C距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
5607振動状態の音叉を用いるもの
5621マイクロメカニカル構造を含む装置
G01P 15/08 2006.1
G物理学
01測定;試験
P直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
15加速度の測定,減速度の測定;衝撃,すなわち加速度の急激な変化,の測定
02慣性力の利用によるもの
08電気値または磁気値への変換を伴うもの
G01P 15/125 2006.1
G物理学
01測定;試験
P直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
15加速度の測定,減速度の測定;衝撃,すなわち加速度の急激な変化,の測定
02慣性力の利用によるもの
08電気値または磁気値への変換を伴うもの
125容量型ピックアップによるもの
H01L 29/84 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部
66半導体装置の型
84外からの機械的力,例.圧力,の変化によって制御可能なもの
CPC
B81B 2201/0235
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0228Inertial sensors
0235Accelerometers
B81B 2201/0242
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0228Inertial sensors
0242Gyroscopes
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
B81B 7/0064
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
7Microstructural systems; ; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
0032Packages or encapsulation
0064for protecting against electromagnetic or electrostatic interferences
B81B 7/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
7Microstructural systems; ; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
02containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems [MEMS]
G01C 19/5621
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5607using vibrating tuning forks
5621the devices involving a micromechanical structure
出願人
  • 株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP]/[JP]
  • セイコーエプソン株式会社 SEIKO EPSON CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 吉田 直記 YOSHIDA Naoki
  • 井出 次男 IDE Tsugio
代理人
  • 金 順姫 JIN Shunji
優先権情報
2015-16389021.08.2015JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) COMPOSITE SENSOR
(FR) CAPTEUR COMPOSITE
(JA) 複合センサ
要約
(EN) This composite sensor includes: a first shield pattern (91) that functions as a noise shielding unit for a circuit board (300); a second shield pattern (92) that functions as a noise shielding unit for a first sensor (100); and a third shield pattern (93) that functions as a noise shielding unit for a second sensor (200). Further, the impedance of the first shield pattern (91) is set to be lower than those of the second and third shield patterns (92), (93), and the second shield pattern (92) and the third shield pattern (93) are electrically connected via the first shield pattern (91). Thus, decrease in detection accuracy due to electrical noise is inhibited.
(FR) L'invention concerne un capteur composite comprenant : un premier motif de blindage (91) qui fonctionne comme une unité de blindage contre le bruit pour une carte de circuit imprimé (300) ; un deuxième motif de blindage (92) qui fonctionne comme une unité de blindage contre le bruit pour un premier capteur (100) ; et un troisième motif de blindage (93) qui fonctionne comme une unité de blindage contre le bruit pour un deuxième capteur (200). De plus, l'impédance du premier motif de blindage (91) est réglée pour être inférieure à celle des deuxième et troisième motifs de blindage 92), (93) et le deuxième motif de blindage (92) et le troisième motif de blindage (93) sont reliés électriquement par le biais du premier motif de blindage (91). Une diminution de la précision de détection due à un bruit électrique est ainsi inhibée.
(JA) 複合センサは、回路基板(300)に対するノイズ遮蔽部として機能する第1シールドパターン(91)と、第1センサ(100)に対するノイズ遮蔽部として機能する第2シールドパターン(92)と、第2センサ(200)に対するノイズ遮蔽部として機能する第3シールドパターン(93)とを備える。そして、第1シールドパターン(91)が第2、第3シールドパターン(92)、(93)よりインピーダンスが低くなるようにし、第2シールドパターン(92)と第3シールドパターン(93)とを第1シールドパターン(91)を介して電気的に接続する。これにより、電気的なノイズによって検出精度が低下することを抑制する。
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