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1. (WO2017033591) 荷電粒子線装置および試料ステージのアライメント調整方法

Pub. No.:    WO/2017/033591    International Application No.:    PCT/JP2016/070204
Publication Date: Fri Mar 03 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Jul 09 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01J 37/22
H01J 37/20
H01J 37/24
H01J 37/28
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: MIKAMI Keisuke
三上 圭介
NESAKI Toshiaki
根崎 俊明
CHIBA Hiroyuki
千葉 寛幸
Title: 荷電粒子線装置および試料ステージのアライメント調整方法
Abstract:
本発明の目的は、試料ステージと光学像のアライメントを、低倍率な光学像と高倍率な光学像を利用して、高精度に、操作性良く、高スループットで調整できることに関する。 本発明は、試料を保持した試料台の光学像をデジタル処理により拡大もしくは縮小または視野変更した第1の処理済み光学像を用いて、試料台アライメントによるアライメント調整が実施可能であり、第1の処理済み光学像とは異なる第2の処理済み光学像を用いて、アライメントポイント指定によるアライメント調整が実施可能であることに関する。 本発明によれば、試料を保持した試料台を試料室から取り出さずに、試料台の外形状と試料上の特徴点を基準として、試料ステージと光学像のアライメントを調整できる。