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1. (WO2017033219) 荷電粒子顕微鏡の観察支援ユニットおよびこれを用いた試料観察方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/033219    国際出願番号:    PCT/JP2015/073453
国際公開日: 02.03.2017 国際出願日: 21.08.2015
IPC:
H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/09 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: OMINAMI Yusuke; (JP).
HISADA Akiko; (JP)
代理人: TODA Yuji; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) OBSERVATION SUPPORT UNIT FOR CHARGED PARTICLE MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD USING SAME
(FR) UNITÉ DE SUPPORT D'OBSERVATION POUR MICROSCOPE À PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON FAISANT INTERVENIR LADITE UNITÉ
(JA) 荷電粒子顕微鏡の観察支援ユニットおよびこれを用いた試料観察方法
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to observe, in a user-friendly manner, a water-containing sample under an air atmosphere, gas atmosphere, or a desired pressure. The present invention provides an observation support unit for the purpose of observing a sample by irradiating a charged particle beam onto the sample, which is disposed in a non-vacuum space separated via a barrier membrane from the internal space of a charged particle optical mirror barrel wherefrom the charged particle beam is generated. This observation support unit comprises a hole portion (501a) forming an observation region where the sample (6) is to be observed, and a main body portion (502b) covering the sample. In between the sample (6) and the barrier membrane, the observation unit is directly placed onto the sample.
(FR)La présente invention concerne l'observation, de manière conviviale pour l'utilisateur, d'un échantillon contenant de l'eau sous une atmosphère d'air, une atmosphère de gaz ou une pression souhaitée. La présente invention concerne une unité de support d'observation permettant d'observer un échantillon par irradiation d'un faisceau de particules chargées sur l'échantillon, ce dernier étant placé dans un espace qui n'est pas sous vide et est séparé par une membrane barrière de l'espace interne d'un barillet de miroir optique à particules chargées à partir duquel le faisceau de particules chargées est généré. L'unité de support d'observation comprend une partie de trou (501a) formant une région d'observation où l'échantillon (6) doit être observé et une partie de corps principal (502b) qui recouvre l'échantillon. Entre l'échantillon (6) et la membrane barrière, l'unité d'observation est placée directement sur l'échantillon.
(JA)利便性良く含水試料を大気雰囲気またはガス雰囲気または所望の圧力下で観察するために、本発明では、荷電粒子線を発生する荷電粒子光学鏡筒の内部空間から隔膜によって隔離された非真空空間に配置された試料に対して荷電粒子線を照射して観察するための観察支援ユニットを提供する。 当該観察支援ユニットは、試料(6)が観察される観察領域を形成する穴部(501a)と前記試料を蓋う本体部(502b)とを備え、前記試料(6)と前記隔膜の間であって、前記試料上に直接載置される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)