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1. (WO2017029876) 静電チャックヒータ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/029876 国際出願番号: PCT/JP2016/068238
国際公開日: 23.02.2017 国際出願日: 20.06.2016
IPC:
H05B 3/20 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01) ,H05B 3/02 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
20
2次元の平面の表面をもつ発熱素子,例.プレートヒータ
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
02
細部
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-city, Aichi 4678530, JP
発明者:
竹林 央史 TAKEBAYASHI, Hiroshi; JP
代理人:
特許業務法人アイテック国際特許事務所 ITEC INTERNATIONAL PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦二丁目16番26号SC伏見ビル SC Fushimi Bldg., 16-26, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
優先権情報:
62/207,48420.08.2015US
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHUCK HEATER
(FR) ÉLÉMENT CHAUFFANT DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャックヒータ
要約:
(EN) An electrostatic chuck heater 20 is provided with an electrostatic chuck 22, a sheet heater 30, and a support block 60. In the electrostatic chuck 22, an electrostatic electrode 24 is embedded in a ceramic sintered compact 26. The sheet heater 30 is a resin sheet 32 having a plurality of correction heater electrodes 34 and a plurality of reference heater electrodes 44. One surface of the sheet heater 30 is bonded by the resin to the electrostatic chuck 22 and the other surface of the sheet heater 30 is bonded by the resin to the support block 60, which is made of metal.
(FR) La présente invention concerne un élément chauffant de mandrin électrostatique 20 ayant un mandrin électrostatique 22, une feuille chauffante 30 et un bloc support 60. Dans le mandrin électrostatique 22, une électrode électrostatique 24 est intégrée dans un élément compact fritté céramique 26. La feuille chauffante 30 est une feuille en résine 32 ayant une pluralité d’électrodes d’élément chauffant de correction 34 et une pluralité d’électrodes d’élément chauffant de référence 44. Une surface de la feuille chauffante 30 est liée par la résine au mandrin électrostatique 22 et l’autre surface de la feuille chauffante 30 est liée par la résine au bloc support 60 qui est constitué de métal.
(JA) 静電チャックヒータ20は、静電チャック22、シートヒータ30及び支持台60を備えている。静電チャック22は、セラミックス焼結体26に静電電極24が埋設されたものである。シートヒータ30は、複数の補正ヒータ電極34及び複数の基準ヒータ電極44を有する樹脂シート32である。このシートヒータ30は、一方の面が静電チャック22に樹脂接着され、他方の面が金属製の支持台60に樹脂接着されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2017029876JP6129451KR1020170081269CN107113921