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1. (WO2017029714) SNS型ジョセフソン接合素子の製造方法及びSNS型ジョセフソン接合素子製造装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/029714 国際出願番号: PCT/JP2015/073164
国際公開日: 23.02.2017 国際出願日: 18.08.2015
IPC:
H01L 39/24 (2006.01) ,H01L 39/22 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
39
超電導性またはハイパーコンダクティビティを利用する装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
24
39/00に分類されている装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
39
超電導性またはハイパーコンダクティビティを利用する装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
22
異種材料の接合からなる装置,例.ジョセフソン効果装置
出願人:
住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都品川区大崎二丁目1番1号 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1416025, JP
発明者:
張 延平 ZHANG Yanping; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) METHOD FOR MANUFACTURING SNS-TYPE JOSEPHSON JUNCTION DEVICE AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SNS-TYPE JOSEPHSON JUNCTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF DE JONCTION JOSEPHSON DE TYPE SNS ET APPAREIL DE FABRICATION DE DISPOSITIF DE JONCTION JOSEPHSON DE TYPE SNS
(JA) SNS型ジョセフソン接合素子の製造方法及びSNS型ジョセフソン接合素子製造装置
要約:
(EN) The present invention provides a method for manufacturing an SNS-type Josephson junction device by radiating a beam on a laminate provided with a pair of superconducting films and with an insulating film disposed between the pair of superconducting films, the method being characterized in that the insulating film is formed of an insulating oxide of niobium, vanadium, titanium, or tantalum and in that the method is provided with: a beam radiation step for radiating the beam, composed of nonmetal ions, X-rays, or an electron beam, on the laminate from outside one of the superconducting films to convert part of the insulating oxide in the insulating film to an electroconductive oxide; and a beam adjustment step for measuring an electrical current or modulation voltage between the pair of superconducting films and adjusting the radiation of the beam on the basis of a measurement value resulting from the measurement.
(FR) La présente invention concerne un procédé de fabrication d’un dispositif de jonction Josephson de type SNS par projection d’un faisceau sur un stratifié comportant une paire de pellicules supraconductrices et une pellicule isolante disposée entre la paire de pellicules supraconductrices, le procédé de fabrication étant caractérisé en ce que la pellicule isolante est formée d’un oxyde de niobium, de vanadium, de titane, ou de tantale isolant et en ce que le procédé consiste : en une étape de projection de faisceau pour la projection du faisceau, composé d’ions non métalliques, de rayons X, ou d’un faisceau d’électrons, sur le stratifié depuis l’extérieur d’une des pellicules supraconductrices pour convertir une partie de l’oxyde isolant dans la pellicule isolante en un oxyde électroconducteur ; et en une étape de réglage de faisceau pour la mesure d’un courant électrique ou d’une tension de modulation entre la paire de pellicules supraconductrices et le réglage de la projection du faisceau sur la base d’une valeur de mesure résultant de la mesure.
(JA)  一対の超伝導膜と、一対の超伝導膜間に設けられた絶縁膜と、を備える積層体にビームを照射して、SNS型ジョセフソン接合素子を製造する方法であって、絶縁膜は、ニオブ、バナジン、チタン、又はタンタルの絶縁性を有する酸化物からなり、一方の超伝導膜の外側から積層体に対して、非金属イオン、X線、又は電子線からなる前記ビームを照射し、絶縁膜中の絶縁性を有する酸化物の一部を導電性を有する酸化物へ変換するビーム照射工程と、一対の超伝導膜間の電流又は変調電圧を測定して、この測定による測定値に基づいて、ビームの照射を調整するビーム調整工程と、を備えることを特徴とするSNS型ジョセフソン接合素子の製造方法。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)