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1. (WO2017026483) 半導体検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/026483 国際出願番号: PCT/JP2016/073445
国際公開日: 16.02.2017 国際出願日: 09.08.2016
予備審査請求日: 08.06.2017
IPC:
G01N 29/04 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
29
超音波,音波または亜音波の使用による材料の調査または分析;超音波または音波を物体内に伝播させることによる物体内部の可視化
04
固体の分析
出願人:
国立大学法人 九州工業大学 KYUSHU INSTITUTE OF TECHNOLOGY [JP/JP]; 福岡県北九州市戸畑区仙水町1-1 1-1, Sensui-cho, Tobata-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka 8048550, JP
発明者:
大村 一郎 OMURA Ichiro; JP
渡邉 晃彦 WATANABE Akihiko; JP
附田 正則 TSUKUDA Masanori; JP
代理人:
中前 富士男 NAKAMAE Fujio; JP
清井 洋平 KIYOI Yohei; JP
優先権情報:
2015-15822810.08.2015JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体検査装置
要約:
(EN) Provided is a semiconductor inspection device 10 having an ultrasound probe 14 for transmitting ultrasonic waves which propagate through a liquid 12 inside a liquid tank 11 to reach a semiconductor element 13, and an analysis means 27 for detecting abnormalities of the semiconductor element 13 based on the received ultrasonic waves, the semiconductor inspection device (10) being provided with: a current applying means 17 that is connected to the semiconductor element 13, energizes the semiconductor element 13, and operates the semiconductor element 13; and flow generation means 16, 23, 24, 25 for generating a flow in the liquid 12 inside the water tank 11.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection de semi-conducteur (10) ayant une sonde ultrasonore (14) pour émettre des ondes ultrasonores qui se propagent à travers un liquide (12) à l'intérieur d'un réservoir de liquide (11) pour atteindre un élément semi-conducteur (13), et un moyen d'analyse (27) pour détecter des anomalies de l'élément semi-conducteur (13) sur la base des ondes ultrasonores reçues, le dispositif d'inspection de semi-conducteur (10) comprenant : un moyen d'application de courant (17) qui est relié à l'élément semi-conducteur (13), excite l'élément semi-conducteur (13), et fait fonctionner l'élément semi-conducteur (13); et un moyen de génération d'écoulement (16, 23, 24, 25) pour générer un écoulement dans le liquide (12) à l'intérieur du réservoir d'eau (11).
(JA) 液体槽11内の液体12中を伝播して半導体素子13に到達する超音波を発信する超音波探触子14と、受信された超音波を基に半導体素子13の異常を検出する解析手段27とを有する半導体検査装置10において、半導体素子13に接続され、半導体素子13に通電して半導体素子13を作動させる電流印加手段17と、液体槽11内の液体12に流れを発生させる流れ発生手段16、23、24、25とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2017026483