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1. (WO2017026296) 試料測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/026296 国際出願番号: PCT/JP2016/072237
国際公開日: 16.02.2017 国際出願日: 28.07.2016
IPC:
G01J 3/51 (2006.01) ,G01B 11/26 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3
分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
46
色の測定;色測定装置,例.比色計
50
電気的な放射線検出器によるもの
51
色フィルターを用いるもの
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
26
角度またはテーパ測定用;軸の心合せ試験用
出願人:
株式会社リコー RICOH COMPANY, LTD. [JP/JP]; 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 3-6, Nakamagome 1-chome, Ohta-ku, Tokyo 1438555, JP (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW)
永井 祥 NAGAI, Sho [JP/JP]; JP (US)
増田 憲介 MASUDA, Kensuke [JP/JP]; JP (US)
丸山 剛 MARUYAMA, Go [JP/JP]; JP (US)
山中 祐治 YAMANAKA, Yuji [JP/JP]; JP (US)
発明者:
永井 祥 NAGAI, Sho; JP
増田 憲介 MASUDA, Kensuke; JP
丸山 剛 MARUYAMA, Go; JP
山中 祐治 YAMANAKA, Yuji; JP
代理人:
酒井 宏明 SAKAI, Hiroaki; JP
優先権情報:
2015-15850610.08.2015JP
発明の名称: (EN) SAMPLE MEASUREMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE MESURE D'ÉCHANTILLON
(JA) 試料測定装置
要約:
(EN) A sample measurement apparatus according to the present invention includes a light-source device, a spectral camera, a first spectral-information calculating unit, a second spectral-information calculating unit, and an evaluating unit. The light-source device irradiates a sample surface of a sample with uniform illumination light from a single or a plurality of illumination units. The spectral camera obtains two-dimensional spectral information through spectrometry of light reflected from the sample surface. The first spectral-information calculating unit calculates first spectral information that is used to evaluate the sample, on the basis of the two-dimensional spectral information obtained by the spectral camera. The second spectral-information calculating unit calculates second spectral information that is used to evaluate the sample, on the basis of two-dimensional spectral information about the sample surface, obtained through ray tracing simulation. The evaluating unit conducts evaluation based on a comparison operation between the first spectral information and the second spectral information.
(FR) La présente invention concerne un appareil de mesure d'échantillon comprenant un dispositif de source de lumière, une caméra spectrale, une première unité de calcul d'informations spectrales, une seconde unité de calcul d'informations spectrales, et une unité d'évaluation. Le dispositif de source de lumière rayonne une lumière d'éclairage uniforme provenant d'une seule ou d'une pluralité d'unités d'éclairage sur une surface d'échantillon d'un échantillon. La caméra spectrale obtient des informations spectrales bidimensionnelles par spectrométrie de la lumière réfléchie par la surface de l'échantillon. La première unité de calcul d'informations spectrales calcule des premières informations spectrales qui sont utilisées pour évaluer l'échantillon, sur la base des informations spectrales bidimensionnelles obtenues par la caméra spectrale. La seconde unité de calcul d'informations spectrales calcule des secondes informations spectrales qui sont utilisées pour évaluer l'échantillon, sur la base d'informations spectrales bidimensionnelles concernant la surface de l'échantillon, obtenues par simulation de lancer de rayons. L'unité d'évaluation effectue une évaluation sur la base d'une opération de comparaison entre les premières informations spectrales et les secondes informations spectrales.
(JA) 本発明の試料測定装置は、光源装置と分光カメラと第1の分光情報算出部と第2の分光情報算出部と評価部とを備える。光源装置は、試料の試料面に対して、単一または複数の照明部から均一な照明光を照射する。分光カメラは、試料面からの反射光を分光して2次元分光情報を取得する。第1の分光情報算出部は、分光カメラにより取得された2次元分光情報に基づいて、試料の評価に用いる第1の分光情報を算出する。第2の分光情報算出部は、光線シミュレーションにより得られた試料面の2次元分光情報に基づいて、試料の評価に用いる第2の分光情報を算出する。評価部は、第1の分光情報と第2の分光情報との比較演算に基づく評価を行う。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)