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1. (WO2017026168) パージ装置、パージストッカ、及びクリーニング方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/026168 国際出願番号: PCT/JP2016/067550
国際公開日: 16.02.2017 国際出願日: 13.06.2016
IPC:
B65G 1/00 (2006.01) ,H01L 21/673 (2006.01)
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
1
倉庫またはマガジン内における,物品の個々にまたは秩序だった貯蔵
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
出願人:
村田機械株式会社 MURATA MACHINERY, LTD. [JP/JP]; 京都府京都市南区吉祥院南落合町3番地 3, Minami Ochiai-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018326, JP
発明者:
椿 達雄 TSUBAKI, Tatsuo; JP
村田 正直 MURATA, Masanao; JP
代理人:
西 和哉 NISHI, Kazuya; JP
優先権情報:
2015-15804310.08.2015JP
発明の名称: (EN) PURGE DEVICE, PURGE STOCKER, AND CLEANING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE PURGE, DISPOSITIF DE STOCKAGE DE PURGE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE
(JA) パージ装置、パージストッカ、及びクリーニング方法
要約:
(EN) In order to provide a purge device capable of removing particles adhered to a gas introducing port of a container or around a purge nozzle, a purge device (4) is provided with a nozzle (31) capable of blowing a gas (G1), and a purge control unit (34) for blowing the gas from the nozzle in a state wherein a bottom surface (Fb) of a container (F) to be purged, and the nozzle are facing each other.
(FR) L'invention concerne un dispositif de purge capable d'éliminer des particules adhérant à un orifice d'introduction de gaz d'un récipient ou autour d'une buse de purge, le dispositif de purge (4) étant pourvu d'une buse (31) capable de souffler un gaz (G1) et d'une unité de commande de purge (34) pour souffler le gaz par la buse de telle sorte que la surface inférieure (Fb) d'un récipient (F) à purger et la buse sont en face l'une de l'autre.
(JA) 容器のガス導入口あるいはパージノズルの周囲に付着したパーティクルを除去することが可能なパージ装置を提供するため、パージ装置(4)は、ガス(G1)を吹き出すことが可能なノズル(31)と、パージ対象の容器(F)の底面(Fb)とノズルとが対向した状態で、ノズルからガスを吹き出させるパージ制御部(34)と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020180030660SG11201800922UCN107922114EP3336015US20180229276