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1. (WO2017022432) ロードポート
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/022432 国際出願番号: PCT/JP2016/070568
国際公開日: 09.02.2017 国際出願日: 12.07.2016
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B65G 49/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
出願人:
シンフォニアテクノロジー株式会社 SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 東京都港区芝大門一丁目1番30号 1-30, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058564, JP
発明者:
鈴木 淳志 SUZUKI, Atsushi; JP
谷山 育志 TANIYAMA, Yasushi; JP
代理人:
特許業務法人梶・須原特許事務所 KAJI, SUHARA & ASSOCIATES; 大阪府大阪市淀川区西中島5-14-22 リクルート新大阪ビル Recruit Shin Osaka BLDG., 5-14-22, Nishinakajima, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011, JP
優先権情報:
2015-15459304.08.2015JP
発明の名称: (EN) LOAD PORT
(FR) ORIFICE DE CHARGEMENT
(JA) ロードポート
要約:
(EN) Provided is a load port with which it is possible to keep the surrounding space clean when a FOUP is connected to a casing. This invention is provided with: a base 41 constituting a part of a wall partitioning a transportation space 9 from the external space; an opening 92 provided to the base 41; a door 81 capable of opening and closing the opening 92 and securing a lid to, and releasing a lid from, a container containing contents; and a first seal member 94 for sealing the space between the base and the container. At least some of the container-side end surface 81c of the door 81 is located nearer to the transportation space 9 than the container-side end part of the first seal member 94.
(FR) L'invention concerne un orifice de chargement avec lequel il est possible de maintenir l'espace environnant propre lorsqu'une capsule universelle à ouverture frontale (FOUP) est reliée à un boîtier. Cette invention est pourvue : d'une base 41 constituant une partie d'une paroi séparant un espace de transport 9 de l'espace externe ; d'une ouverture 92 ménagée dans la base 41 ; d'une porte 81 permettant d'ouvrir et de fermer l'ouverture 92 et de fixer un couvercle à un contenant qui contient des contenus et d'en libérer le couvercle ; d'un premier élément d'étanchéité 94 pour étanchéifier l'espace entre la base et le contenant. Au moins une partie de la surface d'extrémité côté contenant 81c de la porte 81 est située plus près de l'espace de transport 9 que la partie d'extrémité côté contenant du premier élément d'étanchéité 94.
(JA) FOUPを筐体に接続させる際に、周辺空間を清浄に保つことができるロードポートを提供する。 搬送空間9を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベース41と、ベース41に設けられた開口部92と、開口部92の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドア81と、ベースと容器との間をシールする第1シール部材94と、を備え、ドア81の容器側の端面81cの少なくとも一部が、第1シール部材94の容器側の端部より搬送空間9側に位置する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN107924860KR1020180036963US20180229945