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1. (WO2017022035) プローブカード
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/022035 国際出願番号: PCT/JP2015/071867
国際公開日: 09.02.2017 国際出願日: 31.07.2015
IPC:
G01R 1/073 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人:
日本電子材料株式会社 JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORPORATION [JP/JP]; 兵庫県尼崎市西長洲町2丁目5番13号 2-5-13 Nishinagasu-cho, Amagasaki-shi, Hyogo 6600805, JP
発明者:
芹川 昭 SERIKAWA, Akira; JP
柿野 高男 KAKINO, Takao; JP
代理人:
大西 正夫 ONISHI, Masao; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) PROBE CARD
(FR) CARTE SONDE
(JA) プローブカード
要約:
(EN) [Purpose] The present invention provides a probe card that makes it possible to increase the space between a probe and a side wall of a holder that faces the probe. [Structure] A probe card C is provided with a holder 100a, a holder 100g, a cantilevered first probe 200a, and a cantilevered second probe 200g. The probe 200a is held by the holder 100a across a gap in the Y‒Y' direction so that a distal end part 210a projects from a first side wall 110a of the holder 100a. The probe 200g is held by the holder 100g across a gap in the X‒X' direction so that a distal end part 210g projects from a first side wall 110g of the holder 100g. In the probe 200g, a distal end 211g1 of the distal end part 210g of the probe 200g on the furthest end, which is positioned furthest toward the X' direction side, is positioned further along toward the X' direction than a root 212g1 of the distal end part 210g of the second probe 200g on the furthest end.
(FR) La présente invention a pour objectif de réaliser une carte sonde qui permet d'augmenter l'espace entre une sonde et une paroi latérale d'un support qui fait face à la sonde. Une carte sonde (C) selon l'invention est pourvue d'un support (100a), d'un support (100g), d'une première sonde en porte-à-faux (200a) et d'une deuxième sonde en porte-à-faux (200g). La sonde (200a) est maintenue par le support (100a) en travers d'un espace dans la direction Y‒Y' de sorte qu'une partie d'extrémité distale (210a) fait saillie depuis une première paroi latérale (110a) du support (100a). La sonde (200g) est maintenue par le support (100g) en travers d'un espace dans la direction X‒X' de sorte qu'une partie d'extrémité distale (210g) fait saillie depuis une première paroi latérale (110g) du support (100g). Dans la sonde (200g), une extrémité distale (211g1) de la partie d'extrémité distale (210g) de la sonde (200g) à l'extrémité la plus éloignée, qui est positionnée la plus éloignée vers le côté de la direction X', est positionnée plus loin en longueur dans la direction X' qu'une racine (212g1) de la partie d'extrémité distale (210g) de la deuxième sonde (200g) à l'extrémité la plus éloignée.
(JA) 【目的】 本発明は、プローブと、当該プローブに対向する保持部の壁面との間のスペースを大きくすることができるプローブカードを提供することにある。 【構成】 プローブカードCは、保持部100aと、保持部100gと、カンチレバー型の第1プローブ200aと、カンチレバー型の第2プローブ200gとを備えている。 プローブ200aは、先端部210aが保持部100aの第1壁面110aから突出するように、保持部100aにY-Y'方向に間隔をあけて保持されている。プローブ200gは、先端部210gが保持部100gの第1壁面110gから突出するように、保持部100gにX-X'方向に間隔をあけて保持されている。プローブ200gのうち、最もX'方向側に位置する最端のプローブ200gの先端部210gの先端211g1が、当該最端の第2プローブ200gの先端部210gの根元212g1よりもX'方向側に位置している。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2017022035