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1. (WO2017014033) 限界電流式ガスセンサ

Pub. No.:    WO/2017/014033    International Application No.:    PCT/JP2016/069736
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue Jul 05 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 27/41
Applicants: ROHM CO., LTD.
ローム株式会社
Inventors: AKASAKA, Shunsuke
赤坂 俊輔
Title: 限界電流式ガスセンサ
Abstract:
限界電流式ガスセンサ(1A)は、基板(12)と、基板(12)上に第1絶縁層(181)を介して配置されたマイクロヒータMHと、マイクロヒータMH上に第2絶縁層(182)を介して配置され、被測定ガスを取り込むガス導入路(51)と、ガス導入路(51)上に配置された下部電極(28D)と、下部電極(28D)上に配置された固体電解質層(30)と、固体電解質層(30)上の、下部電極(28D)に対向する面に配置された上部電極(28U)と、基板(12)に、マイクロヒータMHよりも実質的に大きく形成されたキャビティ部Cとを備える。センサ特性を改善できると共に、センサ特性をより安定化できる限界電流式ガスセンサを提供する。