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1. (WO2017014033) 限界電流式ガスセンサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2017/014033 国際出願番号: PCT/JP2016/069736
国際公開日: 26.01.2017 国際出願日: 04.07.2016
IPC:
G01N 27/41 (2006.01)
出願人: ROHM CO., LTD.[JP/JP]; 21, Saiin Mizosaki-cho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6158585, JP
発明者: AKASAKA, Shunsuke; JP
代理人: MIYOSHI, Hidekazu; JP
優先権情報:
2015-14392521.07.2015JP
2015-15329703.08.2015JP
2016-06777530.03.2016JP
発明の名称: (EN) LIMITING CURRENT TYPE GAS SENSOR
(FR) CAPTEUR DE GAZ DE TYPE À COURANT LIMITE
(JA) 限界電流式ガスセンサ
要約: front page image
(EN) A limiting current type gas sensor (1A) is provided with: a substrate (12); a microheater MH that is disposed on the substrate (12) with a first insulating layer (181) therebetween; a gas introducing path (51), which is disposed on the microheater MH with a second insulating layer (182) therebetween, and which takes in a gas to be measured; a lower electrode (28D) that is disposed on the gas introducing path (51); a solid electrolyte layer (30) that is disposed on the lower electrode (28D); an upper electrode (28U) that is disposed on a solid electrolyte layer (30) surface on the reverse side of the lower electrode (28D); and a cavity section C that is formed in the substrate (12), said cavity being substantially larger than the microheater MH. The limiting current type gas sensor wherein sensor characteristics are improved and more stabilized is provided.
(FR) L'invention concerne un capteur de gaz de type à courant limite (1A) comprenant : un substrat (12) ; un microdispositif de chauffage MH qui est disposé sur le substrat (12) avec une première couche isolante (181) entre ceux-ci ; un chemin d'introduction de gaz (51) qui est disposé sur le microdispositif de chauffage MH avec une deuxième couche isolante (182) entre ceux-ci, et qui reçoit un gaz à mesurer ; une électrode inférieure (28D) qui est disposée sur le chemin d'introduction de gaz (51) ; une couche d'électrolyte solide (30) qui est disposée sur l'électrode inférieure (28D) ; une électrode supérieure (28U) qui est disposée sur une surface de la couche d'électrolyte solide (30) sur le côté opposé à celui de l'électrode inférieure (28D) ; et une section de cavité C qui est formée dans le substrat (12), ladite cavité étant sensiblement plus grande que le microdispositif de chauffage MH. On obtient un capteur de gaz de type à courant limite dont les caractéristiques sont améliorées et présentant une meilleure stabilité.
(JA) 限界電流式ガスセンサ(1A)は、基板(12)と、基板(12)上に第1絶縁層(181)を介して配置されたマイクロヒータMHと、マイクロヒータMH上に第2絶縁層(182)を介して配置され、被測定ガスを取り込むガス導入路(51)と、ガス導入路(51)上に配置された下部電極(28D)と、下部電極(28D)上に配置された固体電解質層(30)と、固体電解質層(30)上の、下部電極(28D)に対向する面に配置された上部電極(28U)と、基板(12)に、マイクロヒータMHよりも実質的に大きく形成されたキャビティ部Cとを備える。センサ特性を改善できると共に、センサ特性をより安定化できる限界電流式ガスセンサを提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)