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1. (WO2017014016) メタルマスク用基材の製造方法、蒸着用メタルマスクの製造方法、メタルマスク用基材、および、蒸着用メタルマスク

Pub. No.:    WO/2017/014016    International Application No.:    PCT/JP2016/069350
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 30 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 14/04
H01L 51/50
H05B 33/10
Applicants: TOPPAN PRINTING CO., LTD.
凸版印刷株式会社
Inventors: MIKAMI, Naoko
三上 菜穂子
TAMURA, Sumika
田村 純香
TERADA, Reiji
寺田 玲爾
KURATA, Masashi
倉田 真嗣
FUJITO, Daisei
藤戸 大生
NISHITSUJI, Kiyoaki
西辻 清明
NISHI, Takehiro
西 剛広
Title: メタルマスク用基材の製造方法、蒸着用メタルマスクの製造方法、メタルマスク用基材、および、蒸着用メタルマスク
Abstract:
表面と、表面とは反対側の面である裏面とを備える金属圧延シートのうち、表面および裏面の少なくとも一方が処理対象である。メタルマスク用基材の製造方法は、処理対象を酸性エッチング液によって3μm以上エッチングすることによって、金属圧延シートが有する厚さを10μm以下まで薄くするとともに、0.2μm以上の表面粗さRzを有したレジスト用処理面となるように処理対象を粗らし、金属製のメタルマスク用シートを得る。