処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2017014016 - メタルマスク用基材の製造方法、蒸着用メタルマスクの製造方法、メタルマスク用基材、および、蒸着用メタルマスク

公開番号 WO/2017/014016
公開日 26.01.2017
国際出願番号 PCT/JP2016/069350
国際出願日 29.06.2016
IPC
C23C 14/04 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
04選択された表面部分の被覆,例.マスクを用いるもの
H01L 51/50 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H05B 33/10 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
33エレクトロルミネッセンス光源
10エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
CPC
B21B 1/227
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
21MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
BROLLING OF METAL
1Metal-rolling methods or mills for making semi-finished products of solid or profiled cross-section
22for rolling ; plates, strips,; bands or sheets of indefinite length
227Surface roughening or texturing
B21B 2261/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
21MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
BROLLING OF METAL
2261Product parameters
02Transverse dimensions
04Thickness, gauge
B21B 3/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
21MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
BROLLING OF METAL
3Rolling materials of special alloys so far as the composition of the alloy requires or permits special rolling methods or sequences ; Rolling of aluminium, copper, zinc or other non-ferrous metals
02Rolling special iron alloys ; , e.g. stainless steel
B32B 15/015
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
15Layered products comprising ; a layer of; metal
01all layers being exclusively metallic
013one layer being formed of an iron alloy or steel, another layer being formed of a metal other than iron or aluminium
015the said other metal being copper or nickel or an alloy thereof
B32B 15/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
15Layered products comprising ; a layer of; metal
04comprising metal as the main or only constituent of a layer, ; which is next to another layer of the same or of a different material
C23C 14/042
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
042using masks
出願人
  • 凸版印刷株式会社 TOPPAN PRINTING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 三上 菜穂子 MIKAMI, Naoko
  • 田村 純香 TAMURA, Sumika
  • 寺田 玲爾 TERADA, Reiji
  • 倉田 真嗣 KURATA, Masashi
  • 藤戸 大生 FUJITO, Daisei
  • 西辻 清明 NISHITSUJI, Kiyoaki
  • 西 剛広 NISHI, Takehiro
代理人
  • 恩田 誠 ONDA, Makoto
優先権情報
2015-14350917.07.2015JP
2015-17144031.08.2015JP
2015-23700403.12.2015JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR PRODUCING BASE FOR METAL MASKS, METHOD FOR PRODUCING METAL MASK FOR VAPOR DEPOSITION, BASE FOR METAL MASKS, AND METAL MASK FOR VAPOR DEPOSITION
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE BASE POUR MASQUES MÉTALLIQUES, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN MASQUE MÉTALLIQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, BASE POUR MASQUES MÉTALLIQUES ET MASQUE MÉTALLIQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
(JA) メタルマスク用基材の製造方法、蒸着用メタルマスクの製造方法、メタルマスク用基材、および、蒸着用メタルマスク
要約
(EN)
With respect to a rolled metal sheet having a front surface and a back surface that is on the reverse side of the front surface, at least one of the front surface and the back surface is a surface to be processed. A method for producing a base for metal masks, wherein the thickness of a rolled metal sheet is reduced to 10 μm or less by etching a surface to be processed 3 μm or more with use of an acidic etching liquid and the surface to be processed is roughened so as to obtain a processed surface for resist having a surface roughness Rz of 0.2 μm or more, thereby obtaining a metal sheet for metal masks.
(FR)
La surface avant et/ou la surface arrière d'une tôle métallique laminée constituent une surface à traiter. L'invention concerne un procédé de production d'une base pour masques métalliques au cours duquel l'épaisseur d'une tôle métallique laminée est réduite à 10 μm ou moins en gravant à l'acide une surface à traiter sur 3 µm ou plus en utilisant un liquide de gravure à l'acide, puis la surface à traiter est rugosifiée de manière à obtenir une surface traitée destinée à une réserve ayant une rugosité de surface Rz supérieure ou égale à 0,2 µm, ce qui permet d'obtenir une tôle métallique pour masques métalliques.
(JA)
表面と、表面とは反対側の面である裏面とを備える金属圧延シートのうち、表面および裏面の少なくとも一方が処理対象である。メタルマスク用基材の製造方法は、処理対象を酸性エッチング液によって3μm以上エッチングすることによって、金属圧延シートが有する厚さを10μm以下まで薄くするとともに、0.2μm以上の表面粗さRzを有したレジスト用処理面となるように処理対象を粗らし、金属製のメタルマスク用シートを得る。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報