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1. (WO2017013968) 弾性波装置

Pub. No.:    WO/2017/013968    International Application No.:    PCT/JP2016/067749
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 16 01:59:59 CEST 2016
IPC: H03H 9/145
H03H 9/25
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: TAKAI, Tsutomu
▲高▼井 努
TANAKA, Atsushi
田中 厚志
KAI, Seiji
甲斐 誠二
Title: 弾性波装置
Abstract:
厚みが薄い圧電薄膜、低音速膜及び高音速部材が積層されている構造を有する弾性波装置において、特性のばらつきが少ない、弾性波装置を提供する。 低音速膜3上に圧電薄膜4が設けられており、圧電薄膜4上にIDT電極5が設けられており、圧電薄膜4が、圧電単結晶からなり、分極軸方向におけるプラスの面である第1の主面4aと、分極軸方向におけるマイナスの面である第2の主面4bとを有し、圧電薄膜4の低音速膜3側の主面が第1の主面4aであり、IDT電極5側の主面が第2の主面4bである、弾性波装置1。