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1. (WO2017013790) 試料ステージおよびそれを用いた荷電粒子線装置

Pub. No.:    WO/2017/013790    International Application No.:    PCT/JP2015/070984
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri Jul 24 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01J 37/20
Applicants: HITACHI, LTD.
株式会社日立製作所
Inventors: ONO Shiano
小野 志亜之
KANASUGI Koji
金杉 幸二
Title: 試料ステージおよびそれを用いた荷電粒子線装置
Abstract:
サイドエントリ型試料ステージの球形支点部の回転運動を高精度に行うことのできる分解能の高い荷電粒子線装置を提供するために、試料保持部(132)と、試料保持部(132)を回転可能に支持する球形支点部(100)と、回転の軸受となる球形支点受け部(110)と、球形支点部(100)と球形支点受け部(110)との間に配置された、試料保持部(132)を真空に封止する真空封止部材(120)と球形支点部(100)の自重を支持する支持調整部(160)と、を備えた荷電粒子線装置とする。