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1. (WO2017013759) 遠赤外分光装置

Pub. No.:    WO/2017/013759    International Application No.:    PCT/JP2015/070794
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jul 23 01:59:59 CEST 2015
IPC: G01J 3/10
G01N 21/3581
G02F 1/37
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: SHIMURA Kei
志村 啓
OKU Mizuki
奥 瑞希
AIKO Kenji
愛甲 健二
Title: 遠赤外分光装置
Abstract:
遠赤外分光装置は、第1の遠赤外光を発生する波長可変遠赤外光源と、前記第1の遠赤外光を試料上に照射する照明光学系と、前記試料からの第2の遠赤外光をポンプ光を用いて近赤外光に変換する検出用非線形光学結晶と、前記試料の像を前記検出用非線形光学結晶に結像する遠赤外光結像光学系と、を備え、前記試料上での前記第1の遠赤外光の照射位置が前記第1の遠赤外光の波長に依存しない。