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1. (WO2017012749) MEMS ROTATION RATE SENSOR COMPRISING COMBINED DRIVE AND DETECTION
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2017/012749 国際出願番号: PCT/EP2016/061720
国際公開日: 26.01.2017 国際出願日: 24.05.2016
IPC:
G01C 19/5719 (2012.01)
G 物理学
01
測定;試験
C
距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19
ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56
振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
5719
駆動軸沿いに移動する振動状態に駆動される平面状の振動質量体を用いるもの
出願人:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
発明者:
WELLNER, Patrick; DE
KUHLMANN, Burkhard; DE
HATTASS, Mirko; DE
優先権情報:
10 2015 213 450.417.07.2015DE
発明の名称: (EN) MEMS ROTATION RATE SENSOR COMPRISING COMBINED DRIVE AND DETECTION
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION MEMS À ENTRAÎNEMENT ET DÉTECTION COMBINÉS
(DE) MEMS DREHRATENSENSOR MIT KOMBINIERTEM ANTRIEB UND DETEKTION
要約:
(EN) Proposed is a rotation rate sensor comprising a substrate which has a main plane of extension and at least one structure that can move relative to the substrate, wherein the structure can be excited from a resting position of the structure to an oscillation with a movement component substantially parallel to a drive direction substantially parallel to the main plane of extension, wherein the rotation rate sensor comprises at least one comb electrode that moves concomitantly with the structure and at least one comb electrode which is stationary relative to the substrate, in order to excite the oscillation, wherein the excitation can be brought about by applying a voltage to the concomitantly moved comb electrode and/or the stationary comb electrode, wherein the concomitantly moved and the stationary comb electrodes are designed such that a force acting on the structure with a force component along a detection direction substantially perpendicular to the drive direction can be detected on the basis of a rotation rate of the rotation rate sensor about an axis extending substantially perpendicular to the drive direction and substantially perpendicular to the detection direction.
(FR) L'invention concerne un capteur de vitesse de rotation comprenant un substrat présentant un plan d'étendue principal et comprenant au moins une structure mobile par rapport au substrat. La structure peut être excitée sensiblement parallèlement au plan d'étendue principal à partir d'une position de repos de celle-ci pour produire une vibration présentant une composante de déplacement sensiblement parallèle à une direction d'entrainement. Pour l'excitation de la vibration, le capteur de vitesse de rotation comporte au moins une électrode en peigne déplacée conjointement avec la structure et au moins une électrode en peigne fixe par rapport au substrat. L'excitation peut être provoquée en soumettant l'électrode en peigne déplacée conjointement et/ou l'électrode en peigne fixe à une tension. L'électrode en peigne déplacée conjointement et l'électrode en peigne fixe sont réalisées de telle sorte qu'une action de force sur la structure avec une composante de force le long d'une direction de détection sensiblement perpendiculaire à la direction d'entraînement en raison d'une vitesse de rotation du capteur de vitesse de rotation autour d'un axe s'étendant sensiblement perpendiculairement à la direction d'entraînement et sensiblement perpendiculairement à la direction de détection peut être détectée.
(DE) Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen Struktur vorgeschlagen, wobei die Struktur aus einer Ruhelage der Struktur zu einer Schwingung mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu einer Antriebsrichtung im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene anregbar ist, wobei der Drehratensensor zur Anregung der Schwingung mindestens eine mit der Struktur mitbewegte Kammelektrode und mindestens eine relativ zum Substrat feststehende Kammelektrode umfasst, wobei durch Spannungsbeaufschlagung der mitbewegten Kammelektrode und/oder der feststehenden Kammelektrode die Anregung bewirkbar ist, wobei die mitbewegte Kammelektrode und die feststehende Kammelektrode derart ausgebildet sind, dass eine Kraftwirkung auf die Struktur mit einer Kraftkomponente entlang einer Detektionsrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Antriebsrichtung aufgrund einer Drehrate des Drehratensensors um eine im Wesentlichen senkrecht zu der Antriebsrichtung und im Wesentlichen senkrecht zu der Detektionsrichtung verlaufenden Achse detektierbar ist.
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: ドイツ語 (DE)
国際出願言語: ドイツ語 (DE)