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1. WO2017010539 - インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法

公開番号 WO/2017/010539
公開日 19.01.2017
国際出願番号 PCT/JP2016/070799
国際出願日 14.07.2016
IPC
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
B29C 33/38 2006.01
B処理操作;運輸
29プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般
Cプラスチックの成形または接合;他に分類されない可塑状態の材料の成形;成形品の後処理,例.補修
33型またはコア;その細部または付属装置
38材料または製造方法に特微があるもの
B29C 59/02 2006.01
B処理操作;運輸
29プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般
Cプラスチックの成形または接合;他に分類されない可塑状態の材料の成形;成形品の後処理,例.補修
59表面成形,例.エンボス;そのための装置
02機械的手段,例.プレス,によるもの
CPC
B29C 2033/426
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
42characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
424Moulding surfaces provided with means for marking or patterning
426Stampers
B29C 33/38
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
38characterised by the material or the manufacturing process
B29C 33/3842
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
38characterised by the material or the manufacturing process
3842Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
B29C 33/42
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
42characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
B29C 59/002
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
59Surface shaping ; of articles; , e.g. embossing; Apparatus therefor
002Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
B29C 59/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
59Surface shaping ; of articles; , e.g. embossing; Apparatus therefor
02by mechanical means, e.g. pressing
出願人
  • 芝浦メカトロニクス株式会社 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 出村 健介 DEMURA,Kensuke
  • 中村 聡 NAKAMURA,Satoshi
  • 松嶋 大輔 MATSUSHIMA,Daisuke
  • 幡野 正之 HATANO,Masayuki
  • 柏木 宏之 KASHIWAGI,Hiroyuki
代理人
  • 特許業務法人三澤特許事務所 MISAWA PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
2015-14042414.07.2015JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) APPARATUS FOR MANUFACTURING TEMPLATE FOR IMPRINT APPLICATIONS AND TEMPLATE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL DE FABRICATION DE MODÈLE POUR APPLICATIONS D’EMPREINTE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MODÈLE
(JA) インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法
要約
(EN)
An apparatus for manufacturing a template for imprint applications according to the embodiment is provided with: a stage 13 for supporting a template W on which a pattern of recesses and protrusions is formed, the template W having a protrusion 52; a supply head 11 for supplying a liquid repellent in liquid form to the template W on the stage 13; movement mechanisms 15, 17A, and 17B for relatively moving the supply head 11 and the stage 13 in the direction that tracks the stage 13; and a control unit 40 for controlling the supply head 11 and the movement mechanisms so that the supply head 11 coats the liquid repellent in liquid form on at least the side surface of the protrusion 52 avoiding the pattern of recesses and protrusions. The liquid repellent in liquid form includes a liquid-repellent component and a non-liquid-repellent component that react with the surface of the template W, a volatile solvent for dissolving the liquid-repellent component, and a fluorine-based volatile solvent for dissolving the non-liquid-repellent component
(FR)
Selon un mode de réalisation, l’invention concerne un appareil de fabrication d’un modèle pour des applications d’empreinte qui comporte : un étage (13) de support d’un modèle (W) sur lequel est formé un motif d’évidements et d’excroissances, le modèle (W) comportant des excroissances (52) ; une tête d’injection (11) pour l’injection d’un agent imperméable aux liquides sous forme de liquide vers le modèle (W) sur l’étage (13) ; des mécanismes de déplacement (15, 17A et 17B) pour le déplacement relatif de la tête d’injection (11) et de l’étage (13) dans la direction qui suit l’étage (13) ; et une unité de commande (40) pour la commande de la tête d’injection (11) et des mécanismes de déplacement de sorte que la tête d’injection (11) applique l’agent imperméable aux liquides sous forme liquide sur au moins une surface latérale de l’excroissance (52) en évitant le motif d’évidements et d’excroissances. L’agent imperméable aux liquides sous forme liquide inclut un composant imperméable aux liquides et un composant non imperméable aux liquides qui réagissent avec la surface du modèle (W), un solvant volatil pour la dissolution du composant imperméable aux liquides, et un composant volatil à base de fluor pour la dissolution du composant non imperméable aux liquides.
(JA)
実施形態に係るインプリント用のテンプレート製造装置は、凹凸パターンが形成された凸部52を有するテンプレートWを支持するステージ13と、ステージ13上のテンプレートWに液状の撥液材を供給する供給ヘッド11と、供給ヘッド11及びステージ13をステージ13に沿う方向に相対移動させる移動機構15、17A及び17Bと、供給ヘッド11が凹凸パターンを避けて少なくとも凸部52の側面に液状の撥液材を塗布するように供給ヘッド11及び移動機構を制御する制御部40とを備える。液状の撥液材は、テンプレートWの表面と反応する撥液成分及び非撥液成分と、撥液成分を溶かす揮発性溶剤と、非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤とを含む。
関連公開情報:
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