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1. (WO2017010529) 静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2017/010529 国際出願番号: PCT/JP2016/070744
国際公開日: 19.01.2017 国際出願日: 13.07.2016
IPC:
H01J 37/12 (2006.01) ,H01J 37/05 (2006.01) ,H01J 37/075 (2006.01) ,H01J 37/09 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/252 (2006.01) ,H01J 37/305 (2006.01) ,H01J 43/24 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 37/12][IPC code unknown for H01J 37/05][IPC code unknown for H01J 37/075][IPC code unknown for H01J 37/09][IPC code unknown for H01J 37/244][IPC code unknown for H01J 37/252][IPC code unknown for H01J 37/305][IPC code unknown for H01J 43/24]
出願人:
国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NARA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 奈良県生駒市高山町8916番地の5 8916-5, Takayama-cho, Ikoma-shi, Nara 6300192, JP
発明者:
松井 文彦 MATSUI, Fumihiko; JP
松田 博之 MATSUDA, Hiroyuki; JP
代理人:
特許業務法人グローバル知財 THE PATENT CORPORATE BODY GLOBAL INTELLECTUAL PROPERTY; 兵庫県神戸市中央区海岸通4番地 新明海ビル3F Floor 3, Shinmeikai Bldg., 4-banchi, Kaigandori, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500024, JP
優先権情報:
2015-14168715.07.2015JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC LENS, AND PARALLEL BEAM GENERATION DEVICE AND PARALLEL BEAM CONVERGENCE DEVICE WHICH USE ELECTROSTATIC LENS AND COLLIMATOR
(FR) LENTILLE ÉLECTROSTATIQUE, ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE FAISCEAU PARALLÈLE ET DISPOSITIF DE CONVERGENCE DE FAISCEAU PARALLÈLE UTILISANT LA LENTILLE ÉLECTROSTATIQUE ET UN COLLIMATEUR
(JA) 静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置
要約:
(EN) Provided is a compact device which captures, over a wide solid angle range, electrically charged particles emitted from a point source and parallelizes the trajectories of said charged particles. The present invention is configured from: an electrostatic lens comprising a plurality of axisymmetric electrodes (10-14) and an axisymmetric aspherical mesh (2) which has a surface that is concave away from the point source; and a flat collimator plate (3) positioned coaxially with the electrostatic lens. The acceptance angle for the electrically charged particles generated from a point source (7) is ±30º or greater. The shape of the aspherical mesh (2), and the potentials and the positions of a ground electrode (10) and application electrodes (11-15) are adjusted so that the trajectories of the electrically charged particles are substantially parallelized by the electrostatic lens. The electrostatic lens and the flat collimator plate are positioned on a common axis so that after the trajectories of the electrically charged particles have been substantially parallelized with respect to the axis, the charged particles enter the flat collimator plate (3) at an angle of incidence substantially perpendicular thereto.
(FR) L'invention concerne un dispositif compact qui capture, sur une large plage d'angles solides, des particules électriquement chargées émises par une source ponctuelle et parallélise les trajectoires desdites particules chargées. La présente invention est configurée à partir : d'une lentille électrostatique comprenant une pluralité d'électrodes axisymétriques (10-14) et un treillis asphérique axisymétrique (2) qui présente une surface qui est concave à distance de la source ponctuelle ; et d'une plaque de collimation plate (3) positionnée coaxiale avec la lentille électrostatique. L'angle d'admission pour les particules électriquement chargées générées par une source ponctuelle (7) est supérieur ou égal à ± 30°. La forme du treillis asphérique (2) et les potentiels et les positions d'une électrode de masse (10) et d'électrodes d'application (11-15) sont réglés de manière que les trajectoires des particules électriquement chargées soient rendues sensiblement parallèles par la lentille électrostatique. La lentille électrostatique et la plaque de collimation plate sont positionnées sur un axe commun de manière que, après que les trajectoires des particules électriquement chargées ont été rendues sensiblement parallèles par rapport à l'axe, les particules chargées entrent dans la plaque de collimation plate (3) à un angle d'incidence sensiblement perpendiculaire à elle.
(JA) 点源から放出される荷電粒子を広立体角範囲にわたり取り込み、荷電粒子の軌跡を平行化するコンパクトな装置を提供する。点源に対し凹面状を有する軸対称な非球面メッシュ(2)および軸対称な複数の電極(10~14)から成る静電レンズと、静電レンズと同軸に配置される平面コリメータプレート(3)とから構成される。点源(7)から発生した荷電粒子の取り込み角が±30°以上で、荷電粒子の軌跡が静電レンズにより略平行化されるように、非球面メッシュ(2)の形状とアース電極(10)と印加電極(11~15)の電位及び配置が調整されている。荷電粒子の軌跡が軸に対して略平行化された後で、荷電粒子が平面コリメータプレート(3)に対して略垂直に入射するように、静電レンズと平面コリメータプレートが共軸に配置されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)