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1. (WO2017010428) 研磨パッド用の材料精製システム

Pub. No.:    WO/2017/010428    International Application No.:    PCT/JP2016/070295
Publication Date: Fri Jan 20 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Jul 09 01:59:59 CEST 2016
IPC: B29B 7/08
B24D 11/00
B29B 13/10
B29C 39/24
B29C 47/68
Applicants: NITTA HAAS INCORPORATED
ニッタ・ハース株式会社
Inventors: KAWASE, Katsumi
川瀬 克己
SHIGETA, Yoshitane
繁田 好胤
YAMAKOSHI, Masahito
山越 雅仁
Title: 研磨パッド用の材料精製システム
Abstract:
投入された固形の材料を溶融する溶融装置と、該溶融装置で溶融した材料を均質化する均質化装置とを備え、該均質化装置は、均質化する材料の処理可能量が前記溶融装置が溶融する材料の処理可能量よりも多く構成され、且つ前記溶融装置で溶融した材料を撹拌して均質化するように構成される研磨パッド用の材料精製システム。