このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2017010243) 蒸着装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2017/010243 国際出願番号: PCT/JP2016/068407
国際公開日: 19.01.2017 国際出願日: 21.06.2016
IPC:
C23C 14/24 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
出願人:
アイシン精機株式会社 AISIN SEIKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 1, Asahi-machi 2-chome, Kariya-shi, Aichi 4488650, JP
発明者:
水谷 和揮 MIZUTANI Kazuki; JP
片山 幸祐 KATAYAMA Kosuke; JP
代理人:
特許業務法人プロスペック特許事務所 PROSPEC PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中村区太閤三丁目1番18号 名古屋KSビル12階 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801, JP
優先権情報:
2015-14135715.07.2015JP
発明の名称: (EN) VAPOR DEPOSITION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
(JA) 蒸着装置
要約:
(EN) The vertical vapor deposition device according to the present invention is provided with: a retaining part for retaining a substrate; a basket-filament-type heater configured from a wire-shaped heating element for generating heat by application of electrical power thereto and having an accommodating part formed so as to be able to accommodate a vapor deposition material by bending of the wire-shaped heating element, the basket-filament-type heater being provided so that the accommodating part is positioned at a predetermined distance in a horizontal direction from the substrate retained in the retaining part; and a reflecting plate provided behind the vapor deposition material accommodated in the accommodating part as viewed from the substrate retained in the retaining part, and configured so that heat from the basket-filament-type heater is transmitted thereto.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de dépôt en phase vapeur vertical qui comprend : une partie de maintien pour maintenir un substrat ; un dispositif de chauffage de type panier-filament conçu à partir d'un élément chauffant en forme de fil pour générer de la chaleur par application d'énergie électrique à celui-ci et comprenant une partie de logement formée de façon à pouvoir recevoir un matériau de dépôt en phase vapeur par flexion de l'élément chauffant en forme de fil, le dispositif de chauffage de type panier-filament étant prévu de sorte que la partie de logement est positionnée à une distance prédéfinie, dans une direction horizontale, du substrat maintenu dans la partie de maintien ; et une plaque réfléchissante située derrière le matériau de dépôt en phase vapeur logé dans la partie de logement en regardant depuis le substrat maintenu dans la partie de maintien, et conçue de sorte que la chaleur provenant du dispositif de chauffage de type panier-filament lui soit transmise.
(JA)  縦型蒸着装置は、基材を保持する保持部と、通電することにより発熱する線状の発熱体により構成され、線状の発熱体を折り曲げることにより蒸着材料を収容することができるように形成された収容部を有し、保持部に保持されている基材に対して水平方向に所定の距離だけ離間して収容部が位置するように配設されたバスケットフィラメント型ヒータと、保持部に保持されている基材から見て、収容部に収容されている蒸着材料の後方に配設されるとともに、バスケットフィラメント型ヒータから熱が伝達されるように構成された反射板と、を備える。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)