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1. (WO2017010177) センサ装置

Pub. No.:    WO/2017/010177    International Application No.:    PCT/JP2016/065773
Publication Date: Fri Jan 20 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat May 28 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 27/02
G01N 22/00
G01N 27/72
G01R 27/26
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: MITSUNAKA, Takeshi
満仲 健
ASHIDA, Nobuyuki
芦田 伸之
SAITO, Akira
齊藤 晶
IIZUKA, Kunihiko
飯塚 邦彦
Title: センサ装置
Abstract:
空間的分解能を高め、被検査体の物性の局所的な変化を検出する。センサIC(1)は、半導体基板(10)と共振器を有する複数の発振器(20)とを備え、複数の発振器(20)の共振器は、それぞれ、自身の近傍にある被検査体の物性に応じて共振周波数を変化させ、複数の発振器(20)の共振器の分布と、共振周波数とに基づき、被検査体の物性の分布を検出し、複数の発振器(20)の共振器のうち、互いに隣り合う2つの共振器の中心間距離が300μm以下である。