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1. (WO2017010037) 吸着機構及び吸着方法並びに製造装置及び製造方法

Pub. No.:    WO/2017/010037    International Application No.:    PCT/JP2016/002854
Publication Date: Fri Jan 20 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue Jun 14 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/301
H01L 21/683
Applicants: TOWA CORPORATION
TOWA株式会社
Inventors: TSUTAFUJI, Katsunori
傳藤 勝則
IMAI, Ichiro
今井 一郎
ISHIBASHI, Kanji
石橋 幹司
Title: 吸着機構及び吸着方法並びに製造装置及び製造方法
Abstract:
 複数の単位領域が形成された封止済基板を、切削用治具に設けられ第1の吸着面積を有する第1の吸着口によって、切削用治具に吸着する。吸着された封止済基板の少なくとも一部の切断線において、第1の回転刃を使用して切削溝を形成する。切断用治具に設けられた複数の第2の吸着口によって、封止済基板を切断用治具に吸着する。1個の第2の吸着口が第2の吸着面積でもって1個の単位領域を吸着する。切断用治具に吸着された封止済基板の切断線において、第2の回転刃を使用して封止済基板を切断する。第1の吸着面積に含まれ1個の単位領域を吸着する単位吸着面積は第2の吸着面積より大きいので、反りを有する封止済基板が切削用治具に確実に吸着される。形成された切削溝によって封止済基板の反りが低減される。