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1. (WO2017009945) エキシマレーザ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2017/009945 国際出願番号: PCT/JP2015/070133
国際公開日: 19.01.2017 国際出願日: 14.07.2015
IPC:
H01S 3/104 (2006.01) ,H01S 3/10 (2006.01) ,H01S 3/225 (2006.01) ,H01S 3/23 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
S
誘導放出を用いた装置
3
レーザ,すなわち誘導放出を用いた赤外線,可視光あるいは紫外線の発生,増幅,変調,復調あるいは周波数変換のための装置
10
放出された放射線の強度,周波数,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲート,変調または復調
102
活性媒質を制御することによるもの,例.励起方法または励起装置を制御することによるもの
104
ガスレーザにおけるもの
H 電気
01
基本的電気素子
S
誘導放出を用いた装置
3
レーザ,すなわち誘導放出を用いた赤外線,可視光あるいは紫外線の発生,増幅,変調,復調あるいは周波数変換のための装置
10
放出された放射線の強度,周波数,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲート,変調または復調
H 電気
01
基本的電気素子
S
誘導放出を用いた装置
3
レーザ,すなわち誘導放出を用いた赤外線,可視光あるいは紫外線の発生,増幅,変調,復調あるいは周波数変換のための装置
14
活性媒質として使用する物質に特徴のあるもの
22
ガス
223
活性ガスが多原子,すなわち2個以上の原子を含むもの
225
エキシマまたはエキシプレックスからなるもの
H 電気
01
基本的電気素子
S
誘導放出を用いた装置
3
レーザ,すなわち誘導放出を用いた赤外線,可視光あるいは紫外線の発生,増幅,変調,復調あるいは周波数変換のための装置
23
3/02から3/14に分類されない2個以上のレーザの配列,例.分離された活性媒質の直列配列
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
柿崎 弘司 KAKIZAKI Kouji; JP
諏訪 輝 SUWA Akira; JP
若林 理 WAKABAYASHI Osamu; JP
梅田 博 UMEDA Hiroshi; JP
代理人:
保坂 延寿 HOSAKA Nobuhisa; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXCIMER LASER DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER EXCIMÈRE
(JA) エキシマレーザ装置
要約:
(EN) This excimer laser device is an excimer laser device that receives data on target pulse energy from an external device and that outputs a pulsed laser beam, and may be provided with: at least one amplifier each including a master oscillator, a chamber placed in the optical path of a pulsed laser beam output from the master oscillator, a pair of electrodes placed in the chamber, and a power supply for applying a voltage to the pair of electrodes; and a control unit that, on the basis of the target pulse energy, causes the power supply to stop applying the voltage to the pair of electrodes for one amplifier of the at least one amplifier.
(FR) La présente invention concerne un dispositif laser excimère qui est un dispositif laser excimère qui reçoit des données sur l'énergie d'impulsion cible d'un dispositif externe et qui émet un faisceau laser pulsé, et qui peut comporter : au moins un amplificateur incluant chacun un oscillateur maître, une chambre placée dans le chemin optique d'un faisceau laser pulsé émis par l'oscillateur maître, une paire d'électrodes placées dans la chambre, et une alimentation électrique pour l'application d'une tension à la paire d'électrodes; et une unité de commande qui, sur la base de l'énergie d'impulsion cible, entraîne l'arrêt de l'application de la tension par l'alimentation électrique à la paire d'électrodes pour l'amplificateur ou les amplificateurs.
(JA) このエキシマレーザ装置は、外部装置から目標パルスエネルギーのデータを受信して、パルスレーザ光を出力するエキシマレーザ装置であって、マスターオシレータと、マスターオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路に配置されたチャンバと、チャンバに配置された一対の電極と、一対の電極に電圧を印加する電源と、をそれぞれ含む少なくとも1つの増幅器と、目標パルスエネルギーに基づいて、少なくとも1つの増幅器のうちの1つの増幅器について、電源による一対の電極への電圧の印加を停止させる制御部と、を備えてもよい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)