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1. (WO2017009885) 慣性センサ

Pub. No.:    WO/2017/009885    International Application No.:    PCT/JP2015/069839
Publication Date: Fri Jan 20 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Jul 11 01:59:59 CEST 2015
IPC: G01P 15/13
G01P 15/08
G01P 15/125
Applicants: HITACHI, LTD.
株式会社日立製作所
Inventors: ISOBE, Atsushi
礒部 敦
FURUBAYASHI, Yuki
古林 優希
OOSHIMA, Takashi
大島 俊
KAMADA, Yuudai
鎌田 雄大
SHIOTA, Takashi
塩田 貴支
TAKUBO, Chisaki
田窪 千咲紀
SAKUMA, Noriyuki
佐久間 憲之
Title: 慣性センサ
Abstract:
低ノイズで高感度な慣性センサを提供する。この慣性センサは、物理量を静電容量の変化として捉え、静電容量の変化を打ち消す静電気力を発生させるサーボ電圧に基づいて、前記物理量を検出する。そして、この慣性センサは、物理量を静電容量の変化として捉える検出容量部と、サーボ電圧が印加されるサーボ容量部とを備える。ここで、検出容量部とサーボ容量部とは、絶縁物質を介して機械的に接続されている。