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1. (WO2017006801) キャリア基板、積層体、電子デバイスの製造方法

Pub. No.:    WO/2017/006801    International Application No.:    PCT/JP2016/069080
Publication Date: Fri Jan 13 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed Jun 29 01:59:59 CEST 2016
IPC: C03C 3/091
B32B 17/10
C03C 17/22
C03C 17/23
C03C 17/30
C03C 17/32
Applicants: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
旭硝子株式会社
Inventors: ONO Kazutaka
小野 和孝
YAOITA Takatoshi
八百板 隆俊
USUI Reo
臼井 玲大
EBATA Kenichi
江畑 研一
AKIYAMA Jun
秋山 順
Title: キャリア基板、積層体、電子デバイスの製造方法
Abstract:
本発明は、複数回再利用して電子デバイスの製造を行った際にも、電子デバイスの製造歩留まりが優れる、キャリア基板を提供する。本発明は、基板の表面に電子デバイス用部材を製造する際に、この基板に貼り合せられて用いられるキャリア基板であって、キャリア基板は、少なくとも第1ガラス基板を含み、この第1ガラス基板は、下記コンパクションが80ppm以下である、キャリア基板に関する。コンパクション:第1ガラス基板を室温より100℃/時間で昇温し600℃で80分間の加熱処理をしてから、100℃/時間で室温まで冷却した場合の収縮率。