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1. (WO2017006435) 原子間力顕微鏡およびその制御方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2017/006435 国際出願番号: PCT/JP2015/069552
国際公開日: 12.01.2017 国際出願日: 07.07.2015
IPC:
G01Q 10/04 (2010.01) ,G01Q 60/32 (2010.01)
G 物理学
01
測定;試験
Q
走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
10
走査または位置決め装置,すなわち,プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置
04
微動走査または微動位置決め
G 物理学
01
測定;試験
Q
走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
60
特定の型のSPMまたはそのための装置;その基本的な構成部品
24
AFMまたはそのための装置,例.AFM用のプローブ
32
ACモード
出願人:
オリンパス株式会社 OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072, JP
発明者:
酒井 信明 SAKAI, Nobuaki; JP
代理人:
蔵田 昌俊 KURATA, Masatoshi; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ATOMIC FORCE MICROSCOPE AND CONTROL METHOD THEREFOR
(FR) MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE ET SON PROCÉDÉ DE COMMANDE
(JA) 原子間力顕微鏡およびその制御方法
要約:
(EN) This atomic force microscope (100) generates interaction between a sample (103) and a probe (101) provided to the free end of a cantilever (102) while carrying out raster scanning between the cantilever and the sample relative to each other along the XY plane and acquiring sample information. The atomic force microscope is provided with: a raster scanning information generation unit (114) that generates raster scanning information; a raster scanning control unit (108) that controls raster scanning on the basis of the raster scanning information; and an interaction control unit (111) that controls the magnitude of the interaction on the basis of the raster scanning information. The interaction control unit decreases the magnitude of interaction in a relative manner when the relative speeds of the cantilever and the sample along the XY plane of raster scanning decrease relative to each other.
(FR) L'invention concerne un microscope à force atomique (100) qui génère une interaction entre un échantillon (103) et une sonde (101) située sur l'extrémité libre d'un porte-à-faux (102) tout en effectuant un balayage de trame entre le porte-à-faux et l'échantillon l'un par rapport à l'autre le long du plan XY et en acquérant des informations d'échantillon. Le microscope à force atomique est pourvu de : une unité de génération d'informations de balayage de trame (114) qui génère des informations de balayage de trame ; une unité de commande de balayage de trame (108) qui commande un balayage de trame sur la base des informations de balayage de trame ; et une unité de commande d'interaction (111) qui commande l'amplitude de l'interaction sur la base des informations de balayage de trame. L'unité de commande d'interaction diminue l'amplitude d'interaction d'une manière relative lorsque les vitesses relatives du porte-à-faux et de l'échantillon le long du plan XY de balayage de trame diminuent l'une par rapport à l'autre.
(JA) 原子間力顕微鏡(100)は、カンチレバー(102)の自由端に設けられた探針(101)と試料(103)の間に相互作用を生じさせながら、XY平面に沿ったカンチレバーと試料の間の相対的なラスター走査をおこなって試料情報を取得する。原子間力顕微鏡は、ラスター走査情報を生成するラスター走査情報生成部(114)と、ラスター走査情報に基づいて、ラスター走査を制御するラスター走査制御部(108)と、ラスター走査情報に基づいて、相互作用の大きさを制御する相互作用制御部(111)とを備えている。相互作用制御部は、ラスター走査のXY平面に沿ったカンチレバーと前記試料の相対速度が相対的に減少するとき、相互作用の大きさを相対的に減少させる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)