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1. (WO2017003959) TECHNIQUES FOR FILAMENT LOCALIZATION, EDGE EFFECT REDUCTION, AND FORMING/SWITCHING VOLTAGE REDUCTION IN RRAM DEVICES
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2017/003959 国際出願番号: PCT/US2016/039681
国際公開日: 05.01.2017 国際出願日: 27.06.2016
IPC:
H01L 21/76 (2006.01) ,H01L 23/48 (2006.01) ,H01L 23/52 (2006.01) ,H01L 29/40 (2006.01) ,H01L 45/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
70
1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品または集積回路からなる装置またはその特定部品の製造または処理;集積回路装置またはその特定部品の製造
71
グループ21/70で限定された装置の特定部品の製造
76
構成部品間の分離領域の形成
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
48
動作中の固体本体からまたは固体本体へ電流を導く装置,例.リードまたは端子装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
52
動作中の装置内の1つの構成部品から他の構成部品へ電流を導く装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
40
電極
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
45
電位障壁または表面障壁をもたず,整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される固体装置,例.誘電体三極素子;オブシンスキー効果装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
出願人:
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, California 95054, US
発明者:
PILLARISETTY, Ravi; US
MAJHI, Prashant; US
SHAH, Uday; US
MUKHERJEE, Niloy; US
KARPOV, Elijah; US
DOYLE, Brian; US
CHAU, Robert; US
代理人:
PARKER, Wesley E.; US
優先権情報:
14/752,93427.06.2015US
発明の名称: (EN) TECHNIQUES FOR FILAMENT LOCALIZATION, EDGE EFFECT REDUCTION, AND FORMING/SWITCHING VOLTAGE REDUCTION IN RRAM DEVICES
(FR) TECHNIQUES DE LOCALISATION DE FILAMENTS, RÉDUCTION DE L'EFFET DE BORD, ET RÉDUCTION DE LA TENSION D'ÉCRITURE/COMMUTATION DANS LES DISPOSITIFS RRAM
要約:
(EN) The present disclosure provides a system and method for forming a resistive random access memory (RRAM) device. A RRAM device consistent with the present disclosure includes a substrate and a first electrode disposed thereon. The RRAM device includes a second electrode disposed over the first electrode and a RRAM dielectric layer disposed between the first electrode and the second electrode. The RRAM dielectric layer has a recess at a top center portion at the interface between the second electrode and the RRAM dielectric layer.
(FR) La présente invention concerne un système et un procédé pour former un dispositif de mémoire vive résistive (RRAM). Un dispositif RRAM conforme à la présente invention comprend un substrat et une première électrode disposée sur celui-ci. Le dispositif RRAM comprend une seconde électrode disposée sur la première électrode et une couche diélectrique RRAM disposée entre la première électrode et la seconde électrode. La couche diélectrique RRAM présente un évidement au niveau d'une partie centrale supérieure à l'interface entre la seconde électrode et la couche diélectrique RRAM.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)
また、:
CN107636822KR1020180022835EP3320556