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1. (WO2017002854) ガスセンサ及びその使用方法

Pub. No.:    WO/2017/002854    International Application No.:    PCT/JP2016/069267
Publication Date: Fri Jan 06 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 30 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 27/00
Applicants: FUJITSU LIMITED
富士通株式会社
Inventors: HARADA, Naoki
原田 直樹
SATO, Shintaro
佐藤 信太郎
HAYASHI, Kenjiro
林 賢二郎
YAMAGUCHI, Junichi
山口 淳一
Title: ガスセンサ及びその使用方法
Abstract:
半導体層(101~103)と、半導体層(101~103)上方に設けられ、少なくとも一部が気体に接するグラフェン膜(105)と、半導体層(101~103)とグラフェン膜(105)との間のバリア膜(104)と、が含まれる。