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1. (WO2017002748) 電気めっき液分析装置、及び電気めっき液分析方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2017/002748 国際出願番号: PCT/JP2016/068970
国際公開日: 05.01.2017 国際出願日: 27.06.2016
IPC:
G01N 27/416 (2006.01) ,G01N 27/28 (2006.01) ,G01N 27/42 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
26
電気化学的変量の調査によるもの;電解または電気泳動の利用によるもの
416
システム
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
26
電気化学的変量の調査によるもの;電解または電気泳動の利用によるもの
28
電解質セル要素
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
26
電気化学的変量の調査によるもの;電解または電気泳動の利用によるもの
416
システム
42
電解質からの物質の沈積または遊離の測定;電量測定,すなわち電解質中の物質の電気化学当量の測定
出願人:
凸版印刷株式会社 TOPPAN PRINTING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都台東区台東1丁目5番1号 5-1, Taito 1-chome, Taito-ku, Tokyo 1100016, JP
発明者:
小杉 正博 KOSUGI Masahiro; JP
大久保 利一 OKUBO Toshikazu; JP
代理人:
鈴木 史朗 SUZUKI Shirou; JP
優先権情報:
2015-12979329.06.2015JP
発明の名称: (EN) ELECTROPLATING SOLUTION ANALYZER, AND ELECTROPLATING SOLUTION ANALYSIS METHOD
(FR) ANALYSEUR DE SOLUTION D'ÉLECTROPLACAGE, ET PROCÉDÉ D'ANALYSE DE SOLUTION D'ÉLECTROPLACAGE
(JA) 電気めっき液分析装置、及び電気めっき液分析方法
要約:
(EN) This electroplating solution analyzer comprises: an analysis container that accommodates, as an analysis sample, electroplating solution containing additives that include promoters and suppressors, a working electrode that is immersed in the electroplating solution accommodated in the analysis container, and that performs electron transfer, a reference electrode that is immersed in the electroplating solution accommodated in the analysis container, and that serves as a reference when determining the potential of the working electrode, a counter electrode that is immersed in the electroplating solution accommodated in the analysis container, a rotary drive unit that rotates the working electrode at a constant speed, a current generator that applies a current having a constant current density between the working electrode and the counter electrode, a potential measuring unit that uses chronopotentiometry to measure the potential between the working electrode and the reference electrode, and an analysis unit which, in one or more measurement intervals in the elapsed time from when the current was initially applied, calculates a determination analysis value having a potential change rate and/or an average potential, and determines the condition of the electroplating solution by evaluating the determination analysis value on the basis of preset determining conditions.
(FR) L'invention concerne un analyseur de solution d'électroplacage qui comprend : un récipient d'analyse qui loge, en tant qu'échantillon d'analyse, des additifs contenant une solution d'électroplacage qui comprennent des promoteurs et des suppresseurs, une électrode de travail qui est immergée dans la solution d'électroplacage logée dans le récipient d'analyse et qui réalise un transfert d'électrons, une électrode de référence qui est immergée dans la solution d'électroplacage logée dans le récipient d'analyse et qui sert de référence lors de la détermination du potentiel de l'électrode de travail, une contre-électrode qui est immergée dans la solution d'électroplacage logée dans le récipient d'analyse, une unité d'entraînement en rotation qui tourne l'électrode de travail à une vitesse constante, un générateur de courant qui applique un courant ayant une densité de courant constante entre l'électrode de travail et la contre-électrode, une unité de mesure de potentiel qui utilise une chronopotentiométrie pour mesurer le potentiel entre l'électrode de travail et l'électrode de référence, et une unité d'analyse qui, dans un ou plusieurs intervalles de mesure dans le temps écoulé depuis le moment où le courant a été appliqué initialement, calcule une valeur d'analyse de détermination ayant un taux de changement de potentiel et/ou un potentiel moyen, et qui détermine l'état de la solution d'électroplacage par évaluation de la valeur d'analyse de détermination sur la base de conditions de détermination prédéfinies.
(JA) 電気めっき液分析装置は、促進剤及び抑制剤を含む添加剤を含有する電気めっき液を分析用サンプルとして収容する分析用容器と、前記分析用容器に収容された前記電気めっき液に浸漬され、電子の授受を行う作用電極と、前記分析用容器に収容された前記電気めっき液に浸漬され、前記作用電極の電位を決定する際の基準となる参照電極と、前記分析用容器に収容された前記電気めっき液に浸漬されたカウンター電極と、前記作用電極を一定の速度で回転させる回転駆動部と、前記作用電極と前記カウンター電極との間に、一定の電流密度を有する電流を流す電流発生部と、定電流電解法を用いて前記作用電極と前記参照電極との間の電位を測定する電位測定部と、前記電流を流し出してからの経過時間における1以上の測定区間において、電位変化速度及び平均電位のうち少なくとも一方を有する判定用解析値を算出し、予め設定された判定条件に基づいて、前記判定用解析値を評価することによって、前記電気めっき液のコンディションを判定する解析部と、を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)