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1. (WO2017002674) 超音波探触子および超音波検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2017/002674    国際出願番号:    PCT/JP2016/068420
国際公開日: 05.01.2017 国際出願日: 21.06.2016
IPC:
H04R 17/00 (2006.01), G01N 29/24 (2006.01), G01N 29/265 (2006.01)
出願人: HITACHI POWER SOLUTIONS CO., LTD. [JP/JP]; 2-2, Saiwai-cho 3-chome, Hitachi-shi, Ibaraki 3170073 (JP)
発明者: OONO Shigeru; (JP).
SUMIKAWA Kenta; (JP).
TAKAHASHI Takuya; (JP).
YANAGITANI Takahiko; (JP)
代理人: ISONO INTERNATIONAL PATENT OFFICE, P.C.; Hulic Toranomon Building, 1-18, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2015-130769 30.06.2015 JP
発明の名称: (EN) ULTRASONIC PROBE AND ULTRASONIC TESTING DEVICE
(FR) SONDE ULTRASONORE ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE PAR ULTRASONS
(JA) 超音波探触子および超音波検査装置
要約: front page image
(EN)The objective of the present invention is to make it easy to form an ultrasonic probe capable of transmitting ultrasonic waves having a frequency at least equal to 200 MHz, and an ultrasonic testing device. To this end, a laminated piezoelectric element 40 which is a constituent of an ultrasonic probe 4 is formed by providing a laminated piezoelectric film 48 between a lower electrode 42 and an upper electrode 49. The laminated piezoelectric film 48 comprises a ZnO film 43 having spontaneous polarization in a direction substantially perpendicular to the film surface, and a ScAlN film 44 which is different from ZnO and has spontaneous polarization in the opposite direction to ZnO, and which is formed directly on the ZnO film 43.
(FR)L'objectif de la présente invention est de faciliter la formation d'une sonde ultrasonore pouvant transmettre des ondes ultrasonores ayant une fréquence au moins égale à 200 MHz, et un dispositif de contrôle par ultrasons. À cet effet, un élément piézoélectrique stratifié 40 qui est un constituant d'une sonde ultrasonore 4 est formé en disposant un film piézoélectrique stratifié 48 entre une électrode inférieure 42 et une électrode supérieure 49. Le film piézoélectrique stratifié 48 comprend un film de ZnO 43 ayant une polarisation spontanée dans une direction sensiblement perpendiculaire à la surface du film, et un film de ScAlN 44 qui est différent de ZnO et a une polarisation spontanée dans la direction opposée à ZnO, et qui est formé directement sur le film de ZnO 43.
(JA)200MHz以上の周波数の超音波を送信可能な超音波探触子、および超音波検査装置を容易に形成可能とする。そのため、超音波探触子4を構成する積層圧電素子40は、下部電極42と上部電極49との間に積層圧電体膜48を設けて成る積層圧電素子40を備えている。積層圧電体膜48は、膜面に対して実質的に垂直な方向の自発分極を持つZnO膜43の上に、ZnOとは異なり、かつZnOとは反対方向の自発分極を持つScAlN膜44が直接形成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)