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1. (WO2017002513) 弾性波装置

Pub. No.:    WO/2017/002513    International Application No.:    PCT/JP2016/066247
Publication Date: Fri Jan 06 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 02 01:59:59 CEST 2016
IPC: H03H 9/145
H03H 9/64
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: KONOMA, Chihiro
木間 智裕
Title: 弾性波装置
Abstract:
IDT電極がプラズマ雰囲気下に曝された場合においても、特性の劣化が生じ難い、弾性波装置を提供する。 圧電基板2と、圧電基板2上に設けられたIDT電極3と、を備え、IDT電極3が、最表層の電極層3Aを有する少なくとも1以上の電極層と、最表層の電極層3Aを保護する保護電極層3Bと、を有しており、保護電極層3Bは、最表層の電極層3Aより電気抵抗率が大きく、最表層の電極層3Aが、圧電基板2側とは反対側に位置している第1の主面3aと、第1の主面3aに連なる側面3cとを有し、最表層の電極層3Aにおける第1の主面3aと、第1の主面3aから側面3cの少なくとも一部に至る領域とが、保護電極層3Bにより覆われており、保護電極層3Bが、最表層の電極層3Aの側面3cの下端Pを越えていない、弾性波装置1。