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1. (WO2017002306) 圧力センサ

Pub. No.:    WO/2017/002306    International Application No.:    PCT/JP2016/002679
Publication Date: Fri Jan 06 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri Jun 03 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01L 9/00
H01L 29/84
Applicants: DENSO CORPORATION
株式会社デンソー
Inventors: OONO, Kazuyuki
大野 和幸
HASHIMOTO, Kouji
橋本 浩嗣
Title: 圧力センサ
Abstract:
圧力センサは、センサチップ(10)と、樹脂部(40)と、を有する。センサチップは、長手方向に延び、長手方向に対して直交する厚さ方向の長さが他の部分より短いメンブレン(11c)と、メンブレンに設けられた圧電素子(20)と、を備える。樹脂部は、センサチップを片持ち支持する。センサチップは樹脂部に被覆されるとともに固定される支持端(10a)と、長手方向について支持端と反対の端部である自由端(10b)を有する。自由端は樹脂部と長手方向に離れており、メンブレンは樹脂部から離れた自由端に配置される。樹脂部におけるセンサチップを被覆する部位とメンブレンとの間の長手方向における最短の離間距離が、センサチップにおける長手方向と厚さ方向それぞれに直交する短手方向の長さ以上である。この圧力センサによると、メンブレンに歪みが生じるのを抑制しつつ、センサチップの体格の増大を抑制することができる。