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1. (WO2017002265) 太陽電池セルおよび太陽電池セルの製造方法

Pub. No.:    WO/2017/002265    International Application No.:    PCT/JP2015/069174
Publication Date: Fri Jan 06 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri Jul 03 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 31/072
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: MORIKAWA, Hiroaki
森川 浩昭
HAMA, Atsuro
濱 篤郎
KOHATA, Hayato
幸畑 隼人
KANO, Shintaro
過能 慎太郎
Title: 太陽電池セルおよび太陽電池セルの製造方法
Abstract:
太陽電池セル1は、n型単結晶シリコン基板2の一面側に形成されたp型不純物拡散層3と、n型の不純物元素が第1の濃度で拡散された第1n型不純物拡散層11と、n型の不純物元素が第1の濃度よりも低い第2の濃度で拡散された第2n型不純物拡散層12とを有して、n型単結晶シリコン基板2の他面側に形成されてn型の不純物元素をn型単結晶シリコン基板2よりも高い濃度で含有するn型不純物拡散層10と、p型不純物拡散層3上に形成されたp型不純物拡散層上電極と、第1n型不純物拡散層11上に形成されたn型不純物拡散層上電極と、を備える。第1n型不純物拡散層11の表面のn型の不純物元素の濃度が5×1020atoms/cm3以上、2×1021atoms/cm3以下であり、第2n型不純物拡散層12の表面のn型の不純物元素の濃度が5×1019atoms/cm3以上、2×1020atoms/cm3以下である。