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1. WO2016204036 - 収容物移動装置

公開番号 WO/2016/204036
公開日 22.12.2016
国際出願番号 PCT/JP2016/067033
国際出願日 08.06.2016
IPC
H01L 21/673 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673特に適合するキャリアを使用するもの
A61L 2/20 2006.1
A生活必需品
61医学または獣医学;衛生学
L材料またはものを殺菌するための方法または装置一般;空気の消毒,殺菌または脱臭;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品の化学的事項;包帯,被覆用品,吸収性パッド,または手術用物品のための材料
2食料品またはコンタクトレンズ以外の材料またはものを消毒または殺菌するための方法または装置;その付属品
16化学物質を使用するもの
20ガス状物質,例.蒸気
H01L 21/677 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
A61L 2/20
AHUMAN NECESSITIES
61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION, OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS, OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS, OR SURGICAL ARTICLES
2Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
16using chemical substances
20Gaseous substances, e.g. vapours
H01L 21/67373
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67373characterised by locking systems
H01L 21/67376
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67376characterised by sealing arrangements
H01L 21/67379
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67379characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
H01L 21/67772
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67763the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
67772involving removal of lid, door, cover
出願人
  • シンフォニアテクノロジー株式会社 SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 竹内 晴紀 TAKEUCHI, Haruki
  • 逵 一弘 TSUJI, Kazuhiro
  • 前田 峰尚 MAEDA, Minetaka
代理人
  • 特許業務法人梶・須原特許事務所 KAJI, SUHARA & ASSOCIATES
優先権情報
2015-12406419.06.2015JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CONTENT MOVING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉPLACEMENT DE CONTENU
(JA) 収容物移動装置
要約
(EN) The present invention increases the reliability of container movement regulation. A content moving device 1 includes a base portion 20 on which a container 50 is placed, and a regulating mechanism 30. In a flange 55 of the container 50, a cut-out portion 56a is formed. The regulating mechanism 30 includes: an annular portion 31; a first regulating portion 32 disposed in the cut-out portion 56a; a second regulating portion 33a disposed above the first regulating portion 32 and on the inner side than the annular portion 31; and a second moving mechanism. The second moving mechanism causes the second regulating portion 33a to be moved along an extending direction B between a first position at which the second regulating portion 33a opposes the flange 55 of the container 50 in a top-bottom direction A and a second position at which the second regulating portion 33a does not oppose the flange 55 in the top-bottom direction A but opposes the cut-out portion 56a.
(FR) La présente invention accroît la fiabilité de régulation de mouvement de récipient. Un dispositif de déplacement de contenu (1) inclut une partie de base (20) sur laquelle est placée un récipient (50), et un mécanisme régulateur (30). Dans un flanc (55) du récipient (50), une partie découpée (56a) est formée. Le mécanisme régulateur (30) inclut : une partie annulaire (31); une première partie régulatrice (32) disposée dans la partie découpée (56a); une deuxième partie régulatrice (33a) disposée au-dessus de la première partie régulatrice (32) et sur le côté intérieur par rapport à la partie annulaire (31); et un deuxième mécanisme de déplacement. Le deuxième mécanisme de déplacement entraîne le déplacement de la deuxième partie régulatrice (33a) le long d'une direction d'extension (B) entre une première position à laquelle la deuxième partie régulatrice (33a) fait face au flanc (55) du récipient (50) dans une direction de haut en bas (A) et une deuxième position à laquelle la deuxième partie régulatrice (33a) ne fait pas face au flanc (55) dans la direction de haut en bas (A) mais fait face à la partie découpée (56a).
(JA) 容器の移動規制の信頼性を向上させる。 収容物移動装置1は、容器50が載置される台部20と、規制機構30とを含む。容器50のフランジ55には、切り欠き部56aが形成されている。規制機構30は、環状部31と、切り欠き部56a内に配置される第1規制部32と、第1規制部32よりも上方であって環状部31よりも内側に配置された第2規制部33aと、第2移動機構とを有する。第2移動機構は、第2規制部33aが容器50のフランジ55と上下方向Aに対向する第1位置と、フランジ55と上下方向Aに対向せず切り欠き部56aと対向する第2位置との間において第2規制部33aを延在方向Bに沿って移動させる。
関連特許文献
国際事務局に記録されている最新の書誌情報